技术编号：10825022
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。现有技术中的结构，由于刻蚀槽内药液温度过低，与外界环境温度有较大差异，会造成冷凝水形成。冷凝水形成原因刻蚀槽因温度较低0°C_3°C，导致整个槽内环境包含盖板温度较低，外界特别是高温且湿度较大的夏天遇到冷的槽盖后形成冷凝水。滴落暗斑形成原因冷凝水与刻蚀槽药液(HN03/HF/H2SiF6)挥发的酸气结合，时间久了形成浓度较高的酸液，滴落在片子上形成腐蚀坑，造成EL下暗斑。实用新型内容本实用新型的目的是克服了上述现有技术的缺点，提供了一种能够实现不允许盖板液...
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