防止湿法刻蚀槽滴液的装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种防止湿法刻蚀槽滴液的装置，其中包括设置于刻蚀槽上方的盖板，至少一个吸液棉，所述的吸液棉贴附于刻蚀槽的盖板的内表面，所述的吸液棉采用塑料螺钉固定于所述的盖板上，所述的盖板上设置有弧形窗口。采用该种结构的防止湿法刻蚀槽滴液的装置，吸液棉可以防止液滴直接低落，用塑料螺丝固定四个角，方便更换吸液棉，冷凝液滴顺着吸液棉滑落到盖板边缘，防止液滴落到产品上，造成腐蚀，吸液棉是聚丙烯材料，专门用于吸收化学液体，不会发生降解或造成危险化学反应，即使在饱和的情况下也不会扯破，撕裂或磨损，具有更广泛的应用范围。
【专利说明】
防止湿法刻蚀槽滴液的装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及晶硅太阳电池生产技术领域，尤其涉及湿法刻蚀技术领域，具体是指一种防止湿法刻蚀槽滴液的装置。
【背景技术】
[0002]现有技术中的结构，由于刻蚀槽内药液温度过低，与外界环境温度有较大差异，会造成冷凝水形成。
[0003]冷凝水形成原因:刻蚀槽因温度较低0°C_3°C，导致整个槽内环境包含盖板温度较低，外界特别是高温且湿度较大的夏天遇到冷的槽盖后形成冷凝水。
[0004]滴落暗斑形成原因:冷凝水与刻蚀槽药液(HN03/HF/H2SiF6)挥发的酸气结合，时间久了形成浓度较高的酸液，滴落在片子上形成腐蚀坑，造成EL下暗斑。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的是克服了上述现有技术的缺点，提供了一种能够实现不允许盖板液体滴到硅片上的防止湿法刻蚀槽滴液的装置。
[0006]为了实现上述目的，本实用新型的防止湿法刻蚀槽滴液的装置具有如下构成:
[0007]该防止湿法刻蚀槽滴液的装置，其主要特点是，所述的装置包括设置于刻蚀槽上方的盖板，至少一个吸液棉，所述的吸液棉贴附于刻蚀槽的盖板的内表面。
[0008]较佳的，所述的吸液棉采用塑料螺钉固定于所述的盖板上。
[0009]更佳的，所述的塑料螺钉为四个，分别设置于所述的吸液棉的四个角上。
[0010]较佳的，所述的吸液棉为聚丙烯吸液棉。
[0011 ]较佳的，所述的盖板搭成三角形。
[0012]较佳的，所述的盖板上设置有弧形窗口。
[0013]采用了该实用新型中的防止湿法刻蚀槽滴液的装置，吸液棉可以防止液滴直接低落，用塑料螺丝固定四个角，方便更换吸液棉，冷凝液滴顺着吸液棉滑落到盖板边缘，防止液滴落到产品上，造成腐蚀，具有更广泛的应用范围。
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型的防止湿法刻蚀槽滴液的装置的结构示意图。
[0015]附图标记:
[0016]I塑料螺钉
[0017]2吸液棉
[0018]3弧形窗口
[0019]4 盖板
【具体实施方式】
[0020]为了能够更清楚地描述本实用新型的技术内容，下面结合具体实施例来进行进一步的描述。
[0021]本实用新型的装置采用如图1所示的匹配盖板面的吸液棉2，采用塑料螺钉I固定四个角，同时为防止开窗口液滴形成，设计了便于液滴吸附和滑落的弧形窗口 3。该吸液棉2可安全地吸收酸性、腐蚀性液体及其他危险液体;该吸液棉2可以锁住已吸收的液体，当您捡起它时不会发生渗漏;该吸液棉2是聚丙烯材料，专门用于吸收化学液体，不会发生降解或造成危险化学反应；即使在饱和的情况下也不会扯破，撕裂或磨损;该吸液棉2不会像纤维素垫一样立即燃烧，曝于高温工作时熔化而不会燃烧。用塑料螺钉I固定四个角，一方面是该刻蚀槽区域存在大量的HF、HN03混合气相腐蚀，如果用金属螺钉，金属螺钉很快会被腐蚀并掉落到槽体，污染槽体，从而影响产品质量和性能；另一方面，用塑料螺钉I固定，可以方便拆卸和更换，避免了先期采用双面胶粘结，而双面胶被润湿后，粘力下降，吸液棉2掉落到槽体的情况。
[0022]如图1所示，为了实现上述目的，本实用新型的防止湿法刻蚀槽滴液的装置包括设置于刻蚀槽上方的盖板4，至少一个吸液棉2，所述的吸液棉2贴附于刻蚀槽的盖板4的内表面。
[0023]在一种较佳的实施方式中，所述的吸液棉2采用塑料螺钉I固定于所述的盖板4上。
[0024]在一种更佳的实施方式中，所述的塑料螺钉I为四个，分别设置于所述的吸液棉2的四个角上。
[0025]在一种较佳的实施方式中，所述的吸液棉2为聚丙烯吸液棉。
[0026]在一种较佳的实施方式中，所述的盖板4搭成三角形。
[0027]在一种较佳的实施方式中，所述的盖板4上设置有弧形窗口3。
[0028]采用了该实用新型中的防止湿法刻蚀槽滴液的装置，吸液棉可以防止液滴直接低落，用塑料螺丝固定四个角，方便更换吸液棉，冷凝液滴顺着吸液棉滑落到盖板边缘，防止液滴落到产品上，造成腐蚀，具有更广泛的应用范围。
[0029]在此说明书中，本实用新型已参照其特定的实施例作了描述。但是，很显然仍可以作出各种修改和变换而不背离本实用新型的精神和范围。因此，说明书和附图应被认为是说明性的而非限制性的。
【主权项】
1.一种防止湿法刻蚀槽滴液的装置，其特征在于，所述的装置包括设置于刻蚀槽上方的盖板，至少一个吸液棉，所述的吸液棉贴附于刻蚀槽的盖板的内表面;所述的吸液棉采用塑料螺钉固定于所述的盖板上;所述的塑料螺钉为四个，分别设置于所述的吸液棉的四个角上。2.根据权利要求1所述的防止湿法刻蚀槽滴液的装置，其特征在于，所述的吸液棉为聚丙如吸液棉。3.根据权利要求1所述的防止湿法刻蚀槽滴液的装置，其特征在于，所述的盖板搭成三角形。4.根据权利要求1所述的防止湿法刻蚀槽滴液的装置，其特征在于，所述的盖板上设置有弧形窗口。
【文档编号】H01L31/18GK205508851SQ201620115715
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年2月4日
【发明人】胡克喜, 郭威, 李志刚, 杨保平, 何悦
【申请人】尚德太阳能电力有限公司