专利名称：太阳能硅电池湿法刻蚀机快拆式回流管路装置的制作方法
技术领域：
太阳能硅电池湿法刻蚀机快拆式回流管路装置
技术领域：
本实用新型涉及ー种对太阳能硅电池湿法刻蚀浸泡槽体回流路系统的ー种装置，尤其涉及一种太阳能硅电池湿法刻蚀机快拆式回流管路装置。
背景技木太阳能硅电池湿法刻蚀设备中，药水浸泡槽体回流管路系统难以拆卸并且占用空间较大。目前，主流设备采用的方法通过管路直接与浸泡槽体焊接，使得设备建浴管路难以准确定位，安装困难，这种管路系统不能拆卸和维护，使得设备的维护性极差，且长时间化学反应后导致局部浓度不均，对后续反应造成严重的影响。
实用新型内容为了解决管路系统中难以维护带来的影响，本实用新型提供一种太阳能硅电池湿 法刻蚀机快拆式回流管路装置，该装置对现有管路系统进行了完善，使得设备的维护性得到改善。本实用新型的上述目的通过以下的技术方案来实现一种太阳能硅电池湿法刻蚀机快拆式回流管路装置，包括槽体，其特征在于所述槽体上地板设有回流定位槽，回流定位槽上设有快拆封板，所述槽体回流侧板构成的上浸泡区域底部设有回流管。本实用新型的有益效果是使得管路在维护过程中的可操作性得到显著的改善，減少维护成本且缩短维护时间，并且可以调整药液局部浓度。
图I为本实用新型的俯视结构示意图；图2为图I的仰视图；图3为本实用新型具体实施方式
的组合结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型进ー步详述如图I至图3所示，一种太阳能硅电池湿法刻蚀机快拆式回流管路装置，包括槽体1，其特征在于所述槽体I上底板设有回流板定位槽2，回流定位槽ロ，3上设有快拆封板4，所述槽体I的回流侧板4构成的上浸泡区域底部设有回流管5。当硅片通浸泡区时打开回流管5中的回流控制阀，浸泡区域内的液体从快拆回流管5，再通过回流控制阀及管件连接零件流入下槽体内。使上下槽体的液体可以得到循环。同时上槽体内随着硅片的进入浓度开始变化，由于槽体的长度相对较长使得局部的浓度产生不均匀的现象，此时快拆回流管路系统可以起到调节局部浓度的效果。如果管路中有硅片残渣堵塞可通过特制工具将快拆部分拿出进行清理，快速是设备重新运行，提高设备的正常运行周期。[0012] 则本技术方案实施完毕 。
权利要求1.一种太阳能硅电池湿法刻蚀机快拆式回流管路装置，包括槽体，其特征在于所述槽体上地板设有回流定位槽，回流定位槽上设有快拆封板，所述槽体回流侧板构成的上浸泡区域底部设有回流管。
专利摘要本实用新型公开了一种太阳能硅电池湿法刻蚀机快拆式回流管路装置，包括槽体，其特征在于所述槽体上地板设有回流定位槽，回流定位槽上设有快拆封板，所述槽体回流侧板构成的上浸泡区域底部设有回流管。本实用新型的有益效果是使得管路在维护过程中的可操作性得到显著的改善，减少维护成本且缩短维护时间，并且可以调整药液局部浓度。
文档编号C30B33/10GK202643916SQ20122011186
公开日2013年1月2日 申请日期2012年3月21日 优先权日2012年3月21日
发明者施利君, 张强 申请人:苏州晶洲装备科技有限公司