一种气动阀的限流装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种气动阀的限流装置。
【背景技术】
[0002]在太阳能电池片生产工艺中，涉及到补充液态化学品工序，在进行输送液态化学品时需要精准控制液态化学品的浓度，而控制气动阀的开口尺寸是控制化学品浓度的主要手段。目前太阳能电池片生产工艺中涉及到化学品浓度控制的机台主要有湿法刻蚀机、湿法制绒机、清洗机等，在日常工作运行过程中部分机台按照时间比例进行补充液态化学品，部分机台按照硅片运行的工艺数量进行补充液态化学品。补充液态化学品的多少是通过控制气动阀的开度时间来达到的，所以气动阀的开口大小是直接影响液态化学品补充量多少的关键因素。现有技术在补充液态化学品过程中一般都会在气动阀的出口处加载有一限流片，通过限流片的孔径大小来控制气动阀开口大小，从而达到控制液态化学品补充量。
[0003]但由于太阳能电池片对液态化学品的浓度十分敏感，液态化学品浓度过大或者过小都会对太阳能电池片的质量产生影响，而在补充液态化学品实际过程中，液态化学品的浓度因数不同会导致需要补充的液态化学品的量也不同，在这种情况下限流片的孔径大小则会影响到液态化学品补充量的精度，浓度因数不同的液态化学品相应地选择不同孔径大小的限流片则会提高液态化学品补充量的精度。现有技术的限流片只有一个孔径可选择，而实际上补充的液态化学品具有多种浓度，因此，在实际工作中往往由于限流片的孔径过大或过小而导致液态化学品补充量的精度无法如期控制，从而会出现实际液态化学品补充量与所需液态化学品量之间差别较大的现象。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于提供一种气动阀的限流装置，能够适用于对不同浓度的液态化学品进行限流，并有效提高液态化学品的补充精度。
[0005]解决上述技术问题，本实用新型采取以下技术方案予以实现:
[0006]—种气动阀的限流装置，包括中部开有通孔的限流片，其特征是:所述的中部开有通孔的限流片至少具有两个，包括第一限流片和第二限流片，其中第二限流片的第二通孔孔径比第一限流片的第一通孔孔径大，第二限流片的第二通孔轴线与第一限流片的第一通孔轴线同轴并套在第一限流片外。
[0007]作为本实用新型的一种实施例，所述的限流装置还包括中部开有第三通孔的第三限流片，第三限流片的第三通孔孔径比第二限流片的第二通孔孔径大，第三限流片的第三通孔轴线与第二限流片的第二通孔轴线同轴并套在第二限流片外。
[0008]进一步地，所述的第一限流片呈圆板状，第二限流片和第三限流片分别呈圆板状且圆周具有凸起的边沿，所述的第一限流片、第二限流片、第三限流片的外径依次增大，第一限流片套装在第二限流片内，第二限流片套装在第三限流片内。
[0009]与现有技术相比，本实用新型有以下有益效果:
[0010]本实用新型能够适用于对不同浓度的液态化学品进行限流，并有效提高液态化学品的补充精度，保证补充液态化学品的浓度能满足太阳能电池片的生产要求。
【附图说明】
[0011]图1是现有技术限流片的剖视图；
[0012]图2是本实用新型的示意图；
[0013]图3是图2的A-A剖视图。
[0014]图中:1-第一限流片，11-第一通孔，2-第二限流片，21-第二通孔，3-第三限流片，31-第三通孔。
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图用实施例对本实用新型作进一步说明。
[0016]如图2所示，一种气动阀的限流装置，包括三个中部开有通孔的限流片，第一限流片1呈圆板状，第二限流片2和第三限流片3分别呈圆板状且圆周具有凸起的边沿，第一限流片1、第二限流片2、第三限流片3的外径依次增大，第二限流片2的第二通孔21孔径比第一限流片1的第一通孔11孔径大，第三限流片3的第三通孔31孔径比第二限流片2的第二通孔21孔径大；第一限流片1套装在第二限流片2内且两者的孔轴线同轴，第二限流片2套装在第三限流片3内且两者的孔轴线同轴。
[0017]本实用新型的限流装置具有三种不同孔径的限流片可选择，以适应对不同浓度液态化学品的补充量进行精准控制，在实际过程中，液态化学品的补充量为:单位时间X限流孔截面积X流速=补充量，由上公式可知，补充量总和与时间成正比关系，通过改变限流孔截面积的大小，可以增大或减小完成一定体积液态化学品补充量的时间。而在生产过程中一定的生产工艺所需的液态化学品浓度是一定的，则在这种情况下液态化学品补充量的大小是由补充的液态化学品浓度所决定的，当液态化学品的浓度较大时需要补充的液态化学品量小，这时适宜使用孔径较小的限流片进行限流，才能有效控制液态化学品补充量的精度，也即是采用本实用新型的第一限流片1进行限流；当液态化学品的浓度较小时需要补充的液态化学品量大，可以采用孔径较大的限流片进行限流，这样既能保证在限定时间内完成液态化学品的补充又能满足对液态化学品补充量精度的控制，这种情况下可以采用本实用新型的第二限流片2或第三限流片3进行限流。
[0018]以上所述实施例仅表达了本实用新型的部分实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种气动阀的限流装置，包括中部开有通孔的限流片，其特征是:所述的中部开有通孔的限流片至少具有两个，包括第一限流片和第二限流片，其中第二限流片的第二通孔孔径比第一限流片的第一通孔孔径大，第二限流片的第二通孔轴线与第一限流片的第一通孔轴线同轴并套在第一限流片外。2.根据权利要求1所述的气动阀的限流装置，其特征是:所述的限流装置还包括中部开有第三通孔的第三限流片，第三限流片的第三通孔孔径比第二限流片的第二通孔孔径大，第三限流片的第三通孔轴线与第二限流片的第二通孔轴线同轴并套在第二限流片外。3.根据权利要求2所述的气动阀的限流装置，其特征是:所述的第一限流片呈圆板状，第二限流片和第三限流片分别呈圆板状且圆周具有凸起的边沿，所述的第一限流片、第二限流片、第三限流片的外径依次增大，第一限流片套装在第二限流片内，第二限流片套装在第三限流片内。
【专利摘要】本实用新型公开了一种气动阀的限流装置，包括中部开有通孔的限流片，其特征是：所述的中部开有通孔的限流片至少具有两个，包括第一限流片和第二限流片，其中第二限流片的第二通孔孔径比第一限流片的第一通孔孔径大，第二限流片的第二通孔轴线与第一限流片的第一通孔轴线同轴并套在第一限流片外。本实用新型能够适用于对不同浓度的液态化学品进行限流，并有效提高液态化学品的补充精度，保证补充液态化学品的浓度能满足太阳能电池片的生产要求。
【IPC分类】H01L31/18, F16K51/00
【公开号】CN205065029
【申请号】CN201520734887
【发明人】徐建卫, 褚俊华, 倪发松, 鲍洪亮, 陆振中
【申请人】晶澳（扬州）太阳能科技有限公司
【公开日】2016年3月2日
【申请日】2015年9月21日