技术编号:10834558
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。将药液以一定的厚度均匀地涂布到平板基板的涂布装置可以用于多样的领域中,其中之一就包括为了制造LCD等平板显示器而在玻璃基板表面涂布感光性树脂的涂布工-H-O随着显示器基板的大小的大型化,利用狭缝喷嘴(SlitNozzle)的狭缝涂布方式作为药液涂布方式被广泛的应用。狭缝涂布方式为令具有与被处理基板的宽度相当的长度的狭缝喷嘴沿着基板移送,并且通过喷嘴喷射药液而涂布的方式。参考图1,基板涂布装置100在基板G固定于基板平台102的状态下,长度为基板G的宽度的狭...
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