技术编号:10843473
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。目前,国内外大多数厂家采用改良西门子法制备电子级多晶硅。在生产过程中,产生的废气(液)采用碱性溶液中和淋洗混合氯硅烷、氯化氢有害气体和部分氢气、氮气,混合气体与碱性溶液发生化学反应产生大量含盐废渣和含盐废水。含盐废渣目前通常采用填埋或无渗漏渣库储存,暂且还未彻底找到合适的处理方法,仍未实现废渣的资源化利用;含盐废水目前均采用薄膜蒸发结晶和热栗等工艺处理,但处理单位成本非常高,处理后产品的结晶盐暂无法得到处理,对环境污染严重,环保压力形势不容乐观;同样上述采...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。