技术编号：10978498
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 利用毛细管在大电流快脉冲放电Z髓缩获得极紫外光（13.5nm)输出，并用于超大 规模集成电路的刻线（<20nm)，由于毛细管输出的13.5nm福射，是在如空间分布的，在光刻 光源的技术中（DPP技术），其中一个关键技术，是如何有效的将13.5nm输出光收集聚焦，W 提高在焦点处的功率密度。运就需研制收集镜系统，运一收集镜系统又必需是口径由大到 小，多层收集镜片集成的收集镜系统，W本课题组为例，便是设计并研制了8片收集镜片。而 现有技术中没有将多层收...
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