多层收集镜片集成为收集镜系统的装配装置的制造方法
【专利摘要】多层收集镜片集成为收集镜系统的装配装置，涉及收集镜片的装配技术领域。为了满足将多层收集镜片集成为收集镜系统的需求。一个支撑杆与一个压板相配合；轮缘为圆环，圆环的环形内设有多根辐条；辐条上开有N个凹槽，多根辐条的凹槽组成N组与所述圆环同心的圆形，圆环上均匀固定多个支撑杆，支撑杆上可拆卸地固定与其相配合的压板，压板将卡合在凹槽中的收集镜片压紧；基座为L架，L架底板的上表面是与轮缘的外表面相配合的弧面，轮缘固定在基座上。本实用新型的结构简单，适用于装配收集镜。
【专利说明】
多层收集镜片集成为收集镜系统的装配装置
技术领域
[0001 ]本实用新型设及收集镜片的装配技术领域。
【背景技术】
[0002] 利用毛细管在大电流快脉冲放电Z髓缩获得极紫外光（13.5nm)输出，并用于超大 规模集成电路的刻线（<20nm)，由于毛细管输出的13.5nm福射，是在如空间分布的，在光刻 光源的技术中（DPP技术），其中一个关键技术，是如何有效的将13.5nm输出光收集聚焦，W 提高在焦点处的功率密度。运就需研制收集镜系统，运一收集镜系统又必需是口径由大到 小，多层收集镜片集成的收集镜系统，W本课题组为例，便是设计并研制了8片收集镜片。而 现有技术中没有将多层收集镜片集成为收集镜系统的装置。 【实用新型内容】
[0003] 本实用新型是为了满足将多层收集镜片集成为收集镜系统的需求，从而提供多层 收集镜片集成为收集镜系统的装配装置。
[0004] 本实用新型所述的多层收集镜片集成为收集镜系统的装配装置，包括轮缘、多根 福条、多个支撑杆、多个压板和基座；
[0005] -个支撑杆与一个压板相配合;轮缘为圆环，圆环的环形内设有多根福条;福条上 开有N个凹槽，多根福条的凹槽组成腺且与所述圆环同屯、的圆形，N为正整数；
[0006] 圆环上均匀固定多个支撑杆，支撑杆上可拆卸地固定与其相配合的压板，压板将 卡合在凹槽中的收集镜片压紧；
[0007] 基座为L架，L架底板的上表面是与轮缘的外表面相配合的弧面，轮缘固定在基座 上。
[0008] 各福条上有相应的凹槽，位于W轮缘的中屯、为中屯、的同屯、圆环上，凹槽加工时深 度需稍留误差，试装配时，W便可W稍修正凹槽深，凹槽形状与各自安装的镜片匹配，宽度 各自保留有+0.25mm、-0.25mm加工余量，便于每片收集镜片安装后微量调整其同轴性，检查 每片聚焦光的焦点，置于同一焦点后，安装结束，每安装完一片收集镜片在凹槽处涂抹真空 胶水，将收集镜片固定，然后再进行下一片收集镜片的安装，最后组装成一套完整的收集镜 系统。本实用新型的装置结构简单，不仅能用于装配收集镜系统也可在每片收集镜片面型 的检测中用于固定收集镜片。
[0009] 本实用新型适用于装配收集镜。
【附图说明】
[0010] 图1是【具体实施方式】一所述的多层收集镜片集成为收集镜系统的装配装置的结构 示意图；
[0011] 图2是【具体实施方式】一中的基座的结构示意图；
[0012] 图3是【具体实施方式】一中的装配后的收集镜系统的示意图。
【具体实施方式】
【具体实施方式】 [0013] 一：参照图1至图3具体说明本实施方式，本实施方式所述的多层收 集镜片集成为收集镜系统的装配装置，包括轮缘1、多根福条2、多个支撑杆3、多个压板4和 基座5;
[0014] -个支撑杆3与一个压板4相配合;轮缘1为圆环，圆环的环形内设有多根福条2;福 条2上开有N个凹槽2-1，多根福条2的凹槽组成腺且与所述圆环同屯、的圆形，N为正整数；
[0015] 圆环上均匀固定多个支撑杆3,支撑杆3上可拆卸地固定与其相配合的压板4,压板 4将卡合在凹槽中的收集镜片压紧；
[0016] 基座5为L架，L架底板的上表面是与轮缘1的外表面相配合的弧面，轮缘1固定在基 座5上。
[0017] 轮缘1和多根福条2组成星形轮。压板4在保证固有的强度条件下，要求在保证能有 效压住收集镜片使其牢牢固定在福条的凹槽内的前题下，尽量做到压板4宽度尽量窄，因为 该压板会挡住部分照射到收集镜片上的极紫外光，运也是为了保证有尽量高的占空比。
[001引基座5其长为230mm，宽为50mm，高为60mm，基座上有与星形轮外轮廓相匹配的弧 面，用于固定星形轮。
[0019] 本装置也可用于对每片收集镜片面型的检测中，检测时将收集镜片固定到星形轮 上，待每片都检测完毕，保证每片都符合设计要求，待系统集成测试、装配，运时将需要另一 套本实施方式的装置，进行边测试边装配，最后组装成一套完整的收集镜系统。
【具体实施方式】 [0020] 二:本实施方式是对一所述的多层收集镜片集成为收 集镜系统的装配装置作进一步说明，本实施方式中，它还包括垫圈，垫圈套固在支撑杆3上， 用于改变压板4在支撑杆3上的高度。
[0021] 支撑杆3、压板4和垫圈组成装卡部件，用于卡合收集镜片。
【具体实施方式】 [0022] 本实施方式是对一或二所述的多层收集镜片集成 为收集镜系统的装配装置作进一步说明，本实施方式中，所述圆环上设有螺纹孔，螺栓穿过 螺纹孔将支撑杆3固定在圆环上。
[0023] 轮缘1上有8个均匀分布的螺纹孔，螺纹孔尺寸为M10。
【具体实施方式】 [0024] 四：本实施方式是对一或二所述的多层收集镜片集成 为收集镜系统的装配装置作进一步说明，本实施方式中，所述N为8。
[0025] 对于具有8片收集镜片的系统，轮缘1应满足镶嵌所加工的全部收集镜片，因此设 有8组与圆环同屯、的圆形，每片收集镜片厚3mm，8片收集镜片中的口径信息如下表：
[00%]表1 8片收集镜片中的口径信息 Γ00271
【具体实施方式】 [0028] 五:本实施方式是对一或二所述的多层收集镜片集成 为收集镜系统的装配装置作进一步说明，本实施方式中，所述福条2为6根。
【具体实施方式】 [0029] 六:本实施方式是对一或二所述的多层收集镜片集成 为收集镜系统的装配装置作进一步说明，本实施方式中，轮缘1的外径为600mm，宽度为 40mm，厚度为 40mm。
[0030] W轮缘1的径向作为宽度方向，轴向作为厚度方向。
[0031 ]【具体实施方式】屯:本实施方式是对【具体实施方式】一或二所述的多层收集镜片集成 为收集镜系统的装配装置作进一步说明，本实施方式中，福条2宽度为10mm，厚度为40mm。 [0032] W轮缘1轴向作为厚度方向。
【主权项】
1. 多层收集镜片集成为收集镜系统的装配装置，其特征在于，包括轮缘（1)、多根辐条 (2)、多个支撑杆(3)、多个压板(4)和基座(5); 一个支撑杆(3)与一个压板(4)相配合;轮缘（1)为圆环，圆环的环形内设有多根辐条 (2);辐条(2)上开有N个凹槽(2-1)，多根辐条(2)的凹槽组成N组与所述圆环同心的圆形，N 为正整数； 圆环上均匀固定多个支撑杆(3)，支撑杆(3)上可拆卸地固定与其相配合的压板(4)，压 板(4)将卡合在凹槽中的收集镜片压紧； 基座(5)为L架，L架底板的上表面是与轮缘（1)的外表面相配合的弧面，轮缘（1)固定在 基座(5)上。2. 根据权利要求1所述的多层收集镜片集成为收集镜系统的装配装置，其特征在于，它 还包括垫圈，垫圈套固在支撑杆(3)上，用于改变压板(4)在支撑杆(3)上的高度。3. 根据权利要求1或2所述的多层收集镜片集成为收集镜系统的装配装置，其特征在 于，所述圆环上设有螺纹孔，螺栓穿过螺纹孔将支撑杆(3)固定在圆环上。4. 根据权利要求1或2所述的多层收集镜片集成为收集镜系统的装配装置，其特征在 于，所述N为8。5. 根据权利要求1或2所述的多层收集镜片集成为收集镜系统的装配装置，其特征在 于，所述辐条(2)为6根。6. 根据权利要求1或2所述的多层收集镜片集成为收集镜系统的装配装置，其特征在 于，轮缘(1)的外径为600mm，宽度为40mm，厚度为40mm。7. 根据权利要求1或2所述的多层收集镜片集成为收集镜系统的装配装置，其特征在 于，福条(2)宽度为10mm，厚度为40_。
【文档编号】G03F7/20GK205670210SQ201620599404
【公开日】2016年11月2日
【申请日】2016年6月17日
【发明人】祝东远, 徐强, 赵永蓬
【申请人】哈尔滨工业大学