技术编号:10988645
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。毛细管放电Z箍缩(DPP技术)获得的极紫外光13.5nm辐射,可做为极大规模集成电路技术中的曝光光源,这一光源的核心部分是高重频率下工作的主脉冲大电流、快脉冲放电电源。 这一电源要求对毛细管内氙(Xe)介质放电、放电电流达到15KA以上,脉冲重复频率大于或等于ΙΚΗζ,脉冲持续时间为上百微秒。为了使这一电源更便于应用,要求在满足条件下,做到尽量紧凑。而现有主脉冲放电电源的体积庞大,不利于应用。实用新型内容本实用新型是为了解决现有主脉冲放电电源的体积庞大的问...
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