毛细管放电z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源的制作方法
【专利摘要】毛细管放电Z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源，涉及电源，为了解决现有主脉冲放电电源的体积庞大的问题，电网的三相电压输出端的三端分别与高压调压器三相电压输入端的三端相连，高压调压器的输出端与高压变压器的输入端相连，高压变压器的输出端与主脉冲主放电电源主体的电压输入端相连，主脉冲主放电电源主体的初级高压输出端与脉冲压缩装置的电压输入端相连，控制柜的控制信号输出端一与主脉冲主放电电源主体的控制信号输入端相连，控制柜的控制信号输出端二与脉冲压缩装置的控制信号输入端相连。本实用新型的电源结构紧凑，装置简单，便于应用，适用于为极紫外光源提供电源。
【专利说明】
毛细管放电Z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源
技术领域
[0001]本实用新型涉及电源，具体涉及极紫外光源的电源。
【背景技术】
[0002]毛细管放电Z箍缩(DPP技术)获得的极紫外光13.5nm辐射，可做为极大规模集成电路技术中的曝光光源，这一光源的核心部分是高重频率下工作的主脉冲大电流、快脉冲放电电源。
[0003 ] 这一电源要求对毛细管内氙(Xe)介质放电、放电电流达到15KA以上，脉冲重复频率大于或等于ΙΚΗζ，脉冲持续时间为上百微秒。为了使这一电源更便于应用，要求在满足条件下，做到尽量紧凑。而现有主脉冲放电电源的体积庞大，不利于应用。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型是为了解决现有主脉冲放电电源的体积庞大的问题，从而提供毛细管放电Z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源。
[0005]本实用新型所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源，包括高压调压器、高压变压器、主脉冲主放电电源主体、脉冲压缩装置和控制柜；
[0006]电网的三相电压输出端的三端分别与高压调压器三相电压输入端的三端相连，高压调压器的输出端与高压变压器的输入端相连，高压变压器的输出端与主脉冲主放电电源主体的电压输入端相连，主脉冲主放电电源主体的初级高压输出端与脉冲压缩装置的电压输入端相连，控制柜的控制信号输出端一与主脉冲主放电电源主体的控制信号输入端相连，控制柜的控制信号输出端二与脉冲压缩装置的控制信号输入端相连。
[0007]主脉冲放电电源，是一个在毛细管负载上，输出电压需达到20KV以上，在毛细管中产生的电流将达到15KA以上，放电重复频率为IKHz，主放电持续时间为120ys的电源。对于这样一个大电流快脉冲放电电源，要求在达到指标要求前提下，做到结构尽量紧凑，便于使用，本实用新型的电源结构紧凑，装置简单，便于应用。
【附图说明】
[0008]图1是【具体实施方式】一所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源的结构示意图。
【具体实施方式】
[0009]【具体实施方式】一:参照图1具体说明本实施方式，本实施方式所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源，包括高压调压器1、高压变压器2、主脉冲主放电电源主体3、脉冲压缩装置4和控制柜5;
[0010]电网的三相电压输出端的三端分别与高压调压器I三相电压输入端的三端相连，高压调压器I的输出端与高压变压器2的输入端相连，高压变压器2的输出端与主脉冲主放电电源主体3的电压输入端相连，主脉冲主放电电源主体3的初级高压输出端与脉冲压缩装置4的电压输入端相连，控制柜5的控制信号输出端一与主脉冲主放电电源主体3的控制信号输入端相连，控制柜5的控制信号输出端二与脉冲压缩装置4的控制信号输入端相连。
[0011]高压调压器I用于调节动力电380V电压，调节后的电压作为后续高压变压器2的输入电压；高压变压器2调节高压调压器I输出电压，调节后的电压作为主脉冲主放电电源主体3的输入电压;主脉冲主放电电源主体3用于产生初级高压电压;脉冲压缩装置4对初级高压电压进行脉冲压缩，以获得快脉冲、高电压输出，脉冲压缩装置4的输出端作为电源的输出端;控制柜5控制主脉冲主放电电源主体3和脉冲压缩装置4在规定时序工作。
[0012]本实施方式的主脉冲放电电源与现有的预脉冲放电电源联合工作，对毛细管放电，已获得了Xe+1。离子的极紫外光13.5nm辐射。
[0013]【具体实施方式】二:本实施方式是对【具体实施方式】一所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源作进一步说明，本实施方式中，它还包括电源机箱，高压调压器1、高压变压器2、脉冲压缩装置4和控制柜5均放置于电源机箱内。
[0014]主脉冲主放电电源主体3为现有技术，包括初级充电部分、中间储能和脉冲成形部分、脉冲压缩部分;脉冲压缩部分包括三级压缩部件，除脉冲压缩第三级部件放置在电源机箱外面，与毛细管放电室安置在一起外，主脉冲主放电电源主体3的其他部分均放置在电源机箱内。
[0015]【具体实施方式】三:本实施方式是对【具体实施方式】二所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源作进一步说明，本实施方式中，电源机箱的壳体内充满变压器油，用于制冷。
[0016]电源的元器件在工作时会发热，通过在电源机箱内灌满变压器油，对各元器件进行冷却。电源机箱接地。
[0017]【具体实施方式】四:本实施方式是对【具体实施方式】三所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源作进一步说明，本实施方式中，电源机箱上设有变压器油杯，油杯的杯底与电源机箱的壳体相通。
[0018]电源工作时，元器件发热，如闸流管发热，电源机箱的壳体内的变压器油升温，体积增大，在油杯的油标上将看到油面上升，这说明闸流管已被加热触发也就是电源已开始工作。油杯设置于电源机箱的上盖上，上盖采用密封胶圈密封。
[0019]【具体实施方式】五:本实施方式是对【具体实施方式】一或四所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源作进一步说明，本实施方式中，电源机箱上设有玻璃观察窗，玻璃观察窗上盖合金属盖板。
[0020]玻璃观察窗用于观察电源内部的状况，玻璃观察窗上加盖一个金属盖板，为了防止主脉冲放电电源主体内部、大电流快脉冲放电产生的电磁辐射泄露，影响周边仪器的工作。
【主权项】
1.毛细管放电Z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源，其特征在于，包括高压调压器(I)、高压变压器(2)、主脉冲主放电电源主体(3)、脉冲压缩装置(4)和控制柜(5); 电网的三相电压输出端的三端分别与高压调压器(I)三相电压输入端的三端相连，高压调压器(I)的输出端与高压变压器(2)的输入端相连，高压变压器(2)的输出端与主脉冲主放电电源主体(3)的电压输入端相连，主脉冲主放电电源主体(3)的初级高压输出端与脉冲压缩装置(4)的电压输入端相连，控制柜(5)的控制信号输出端一与主脉冲主放电电源主体(3)的控制信号输入端相连，控制柜(5)的控制信号输出端二与脉冲压缩装置(4)的控制信号输入端相连。2.根据权利要求1所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源，其特征在于，它还包括电源机箱，高压调压器(I)、高压变压器(2)、脉冲压缩装置(4)和控制柜(5)均放置于电源机箱内。3.根据权利要求2所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源，其特征在于，电源机箱的壳体内充满变压器油，用于制冷。4.根据权利要求3所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源，其特征在于，电源机箱上设有变压器油杯，油杯的杯底与电源机箱的壳体相通。5.根据权利要求1或4所述的毛细管放电Z箍缩极紫外光源的紧凑型主脉冲放电电源，其特征在于，电源机箱上设有玻璃观察窗，玻璃观察窗上盖合金属盖板。
【文档编号】H02P9/06GK205681358SQ201620641543
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年6月24日 公开号201620641543.6, CN 201620641543, CN 205681358 U, CN 205681358U, CN-U-205681358, CN201620641543, CN201620641543.6, CN205681358 U, CN205681358U
【发明人】赵永蓬, 徐强, 王骐
【申请人】哈尔滨工业大学