荷电引导件及用于电子显微镜的测试平台的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11047601

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本实用新型涉及电子显微镜的测试技术领域,尤其涉及一种荷电引导件及用于电子显微镜的测试平台。背景技术扫描电子显微镜(SEM,简称扫描电镜)是一个集电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制技术于一体的复杂系统,其主要功能是对固态物质的形貌显微分析和对常规成分通过的微区分析。扫描电镜以分辨率高、景深好和操作简单等优点在化工、材料和刑侦等领域应用广泛。在对样品的表面测试时,扫描电镜的电子束不穿过样品,仅以电子束尽量聚焦在样本的一小块地方,然后一行一行地扫描样本。入射的电子导致样本表面被激发...
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