荷电引导件及用于电子显微镜的测试平台的制作方法

本实用新型涉及电子显微镜的测试技术领域，尤其涉及一种荷电引导件及用于电子显微镜的测试平台。

背景技术：

扫描电子显微镜(SEM，简称扫描电镜)是一个集电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制技术于一体的复杂系统，其主要功能是对固态物质的形貌显微分析和对常规成分通过的微区分析。扫描电镜以分辨率高、景深好和操作简单等优点在化工、材料和刑侦等领域应用广泛。在对样品的表面测试时，扫描电镜的电子束不穿过样品，仅以电子束尽量聚焦在样本的一小块地方，然后一行一行地扫描样本。入射的电子导致样本表面被激发出次级电子。扫描电镜观察的是这些每个点散射出来的电子，放在样品旁的闪烁晶体接收这些次级电子，通过放大后调制显像管的电子束强度，从而改变显像管荧光屏上的亮度。次级电子的产率与入射电子的发射率不一致时，样品表面会产生电荷。对于导电性能比较好的材料的样品，电荷可以被转移；对于导电性能不好的样品如陶瓷、玻璃、塑料材料的样品，样品表面的电荷无法转移，从而产生荷电效应。荷电效应会导致测试图片发生严重的扭曲，无法得出准确的测试结果。

现有技术中，为了消除荷电效应，一般会采取以下几种方式：1.在样品表面喷金，使得样品表面的电荷可以通过金导出，由于金是比较昂贵的金属，喷金的成本比较高，且对于某些非导电基底的纳米材料或者膜层测试时，样品切片所测目标非常小，喷金对样品的尺寸影响不能忽略，样品表面细节会被掩盖。2.降低电子束的电压，对于部分样品可以减少其荷电效应，但是对于某些样品，如太阳能背板的样品，会由于亮度过小，清晰度不够而无法完成测试。3.在样品上贴导电胶带，通过导电胶带转移电荷，但是导电胶带需要人工沿着样品表面粘贴，操作繁琐，且导电胶带经常会覆盖需要测试的区域，得不到想要的测试结果。

技术实现要素：

本实用新型的第一目的在于提出一种荷电引导件，可以很好地转移样品表面的电荷，通用性强，测试方便。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种荷电引导件，包括用于引走样品的表面的电荷的金丝部，所述金丝部包括多根间隔或交错设置的金丝，多根所述金丝之间设置有用于观察所述样品的观察间隙；测试时，将所述金丝部放置于所述样品的表面，以引走样品的表面的电荷。

其中，还包括固定件，所述金丝部设置于所述固定件上，测试时，所述金丝部被所述固定件抵接于所述样品的表面。

其中，所述金丝部电连接有导电线，或所述固定件设置有与所述金丝部电连接的导电部，或所述固定件为可导电的固定件。

其中，所述金丝的覆盖面积为所述金丝部的面积的45％-70％。

其中，所述固定件上开设有观察口，所述金丝部对应设置于所述观察口内。

其中，所述观察口的面积为所述固定件的面积的20％-80％。

其中，所述固定件为板状结构的铜固定件，所述固定件在环绕所述观察口的位置设置有导电区域，所述金丝部固定且电连接于所述导电区域。

其中，所述固定件开设有固定孔，以将所述固定件固定于测试平台。

其中，所述固定件包括固定架，所述固定架包括用于将所述金丝部抵接于所述样品的表面的固定网。

本实用新型的第二目的在于提出一种用于电子显微镜的测试平台，可以很好的转移样品表面的电荷，通用性强，测试方便。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种用于电子显微镜的测试平台，包括上述的荷电引导件和用于放置样品的台面。

有益效果：本实用新型提供了一种荷电引导件及用于电子显微镜的测试平台，荷电引导件包括用于引走样品的表面的电荷的金丝部，所述金丝部包括多根间隔或交错设置的金丝，多根所述金丝之间设置有用于观察所述样品的观察间隙；测试时，将所述金丝部放置于所述样品的表面，可以直接通过金丝部引走样品的表面的电荷，操作方便。荷电引导件可以重复利用，通用性强，成本低，且对样品的表面没有影响，通过观察间隙观察不会遮挡样品，测试方便。

附图说明

图1是本实用新型的实施例1提供的荷电引导件的俯视图。

图2是本实用新型的实施例1提供的测试平台的台面的俯视图。

图3是本实用新型的实施例2提供的荷电引导件的俯视图。

其中：

1-金丝部，11-金丝，12-观察间隙，2-固定件，211-观察口，212-导电区域，213-固定孔，22-固定架，221-固定网，3-台面，31-螺孔，32-对位标识。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

实施例1

本实施例提供了一种荷电引导件，如图1所示，包括用于引走样品的表面的电荷的金丝部1，金丝部1包括多根间隔或交错设置的金丝11，多根金丝11之间设置有用于观察样品的观察间隙12；测试时，将金丝部1放置于样品的表面，金的导电性能比较好，可以将样品表面的电荷转移，从而消除样品的荷电效应，只需要将金丝部11放在样品表面即可，不需要仔细沿着样品边缘粘贴等，操作方便。金丝11的表面不太容易被氧化，金丝部1可以重复利用，且对于不同样品的通用性强，测试成本降低，也不需要对样品表面喷金，对样品的表面没有影响，通过观察间隙观察也不会遮挡样品，测试方便。金丝11的覆盖面积为金丝部1的面积的45％-70％比较合适，既能达到比较良好的电荷导出的效果，又避免遮挡样品太多，降低观察效果。

为了确保金丝部1的金丝11与样品的表面充分接触，荷电引导件还包括固定件2，在测试时，金丝部1设置于固定件2上，通过固定件2将金丝部1抵接于样品表面。金丝部1可以直接固定在固定件2上，也可以在非测试时，金丝部1和固定件2处于非连接状态，只是在测试时，金丝部1被固定件2压在样品的表面，即可比较好地消除荷电效应。

本实施例的固定件2为板状结构，固定件2上开设有观察口211，固定件2的观察口211用于观察样品，金丝部1对应设置于观察口211内，可以是直接固定于观察口211，金丝部1和固定件2固定，与分离的相比，不需要在使用时再定位，使用方便。在实际测试时，可以利用固定件2的自身重量，将金丝部1抵接在样品的表面，固定件2可以至少部分结构是板状结构，板状结构比较平，利于金丝部1和样品的表面的接触。

为了保证比较好的观察效果，观察口211的面积应该大于固定件2的面积的20％，可以在80％以下，在40％-70％是比较合适的范围，既能兼顾观察效果。固定件2为可导电材料制作的固定件2，如铜固定板等，从样品表面转移到金丝部1上的电荷，可以进一步通过铜固定板转移出去，进一步消除荷电效应。固定件2在环绕观察口211的位置设置有导电区域212，金丝部1固定且电连接于导电区域212，导电区域可以更好地将金丝部1与固定件2连接起来，导电区域212可以通过镀银等方式，使得导电区域212为银层，加强电荷的转移。固定件2也可以是其他的导电性能比较优异的材料制成，导电区域212也可以是通过其他导电性能比较优异的材料镀膜。导电区域212可以占固定件2的面积的10％-70％，以获得比较好的电荷转移效果,10％-20％这个范围为更优选的参数范围。

除了利用自身重量使得金丝部1更好的抵接在样品表面外，还可以将固定件2固定于测试平台，可以在固定件2上开设固定孔213，相应的，如图2所示，可以在测试平台的台面上开设相应的螺孔31，螺钉穿过固定孔213，将固定件2固定在测试平台的台面3上。通过在固定件2下垫相应的垫块，或者是在固定件2的上下位置设置调节螺母等方式，螺钉可以调整固定件2的高度，以适应不同高度的样品，保证金丝部1和样品的表面接触良好。测试平台的台面2上还设置有对位标识32，将样品放在对位标识32上后，可以保证金丝部1的位置与样品相对应。此外，还可以直接将侧板的底部粘贴在台面3上，或者是在侧板上开设相应的固定孔，将固定件2固定在台面3上。

固定件2也可以是导电性能比较差的材料制成，为了转移金丝部1的电荷，金丝部1可以电连接有导电线，通过导电线转移电荷，导电线可以沿着固定件2布置；或固定件2设置有与金丝部1电连接的导电部，此时固定件2可以部分为可导电材料，如通过不同的部分拼接而成，其中与金丝部1接触的部分为可导电材料制成；或固定件2整体为可导电的固定件2，如上述的铜固定板等。

实施例2

如图2所示，与实施例1不同的是，本实施例提供的荷电引导件的固定件2包括固定架22，固定架22包括用于将金丝部1抵接于样品表面的固定网221，即，本实施例直接通过固定架22上的固定网221，将金丝部1抵接在样品的表面，将样品表面的电荷转移走，消除荷电效应。固定网本身的网孔即可用于观察样品，不需要重新开设观察孔，使用方便，还可以在各个位置放置样品，不需要在测试平台的台面上设置对位标识。

金丝部1可以直接与固定网221固定，也可以只是在测试时，被固定网221压在样品的表面，在非测试时，金丝部1也可以和固定网221分开，只需要将金丝部1在测试时被压在样品的表面即可有比较好消除荷电效应的效果。

固定架22还设置有支撑固定架22的支撑部，支撑部固定于测试平台。支撑部可以是沿固定架22的外侧设置的凸耳，凸耳上开设有通孔，供螺钉穿过后与测试台的台面固定，支撑部可以通过螺钉带动固定架22上下移动，调整金丝部1与样品的表面的松紧度。支撑部也可以是支撑柱等结构，直接将固定架22支撑在台面上。

实施例3

本实施例提供了一种用于电子显微镜的测试平台，包括上述实施例中的荷电引导件和用于放置样品的台面3。测试时，将金丝部1放置于样品的表面，金的导电性能比较好，可以将样品表面的电荷转移，从而消除样品的荷电效应，只需要将金丝部11放在样品表面即可，不需要仔细沿着样品边缘粘贴等，操作方便。金丝11的表面不太容易被氧化，金丝部1可以重复利用，且对于不同样品的通用性强，测试成本降低，也不需要对样品表面喷金，对样品的表面没有影响，通过观察间隙观察也不会遮挡样品，测试方便。

台面3上还可以设置螺孔，与固定件2配合使用，调整固定件2的高度，更好地固定金丝部1。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。