利用电荷注入的读出电路的结构的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11142572

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本发明涉及用于电磁式传感器的读出电路的结构。在本文中,通过“电磁式传感器”意指包括用于读出像素的电路的电磁辐射传感器,其中,每个像素包括至少一个用于发出代表该像素所暴露至的辐射的电信号的光电二极管。这种传感器由半导体衬底(例如硅的)制备,光电二极管形成在所述半导体衬底中。旨在利用的辐射可以例如是可见光图谱内的辐射,然而,这并不构成限制。通过读出电路读取每个光电二极管所发出的电信号(为此目的,通常各个读出电路分别专用于每个光电二极管)。读出电路也形成在硅半导体衬底中。本发明发现混合式传感器中的的有...
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