技术编号：11170683
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种类金刚石膜层的表面处理方法及制品。背景技术类金刚石(Diamond-likeCarbon，简写为DLC)膜层具有高硬度、高弹性模量、优异的耐磨性能、化学稳定性及生物相容性，具有非常广泛的应用前景。但内应力大、膜/基之间的结合力差，且DLC膜层的硬度(一般在2300HV左右)与氮化钛、氮化铬等硬质膜层的硬度相比偏低等缺点限制了DLC膜层的应用。通过离子束辅助磁控溅射沉积技术，形成掺杂有金属和/或非金属元素DLC膜层，虽然可改善DLC膜层的硬度，但掺杂元素的加入易于使DLC膜层的内应力...
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