技术编号:11224460
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及自支撑铍薄膜技术领域,更具体地说,本发明涉及一种高精度极小尺寸自支撑铍薄膜的制备方法。背景技术铍(Be)是稀有金属之一,与其它低序数金属材料相比,具有密度低、熔点高、强度及弹性模量高、比热容大、X射线透过率极高、可调控热中子散射等特点,其独特的物理化学性质使其在核工业、航空航天、冶金工业及高科技领域具有重要的应用价值。自支撑铍薄膜是指无衬底支撑而独立存在的铍薄膜,本发明的“高精度极小尺寸自支撑铍薄膜”,除非特别说明,是指外形(圆形或方形)尺寸小于1mm,一般介于数十至数百μm,尺寸精度...
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