技术编号：11245952
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一种离子注入系统机械真空泵油组合物属于压缩机润滑剂领域。背景技术离子注入技术就是一种把掺杂剂的原子引入固体的一种材料改性的方法。其原理是，在真空环境中经过加速的需要掺杂的原子在离子照射(注入)固体材料，从而在所选择的区域形成一个具有特殊性质的表面层(注入层)。离子注入首先是作为一种半导体材料的掺杂技术发展起来。具有低温掺杂，精确地剂量控制，掩获容易，均匀性好这些优点。对于大规模和超大规格集成电路来说，离子注入是一种理想的掺杂工艺。离子注入层是极薄的，同时，离子束的直进性保证注入的离子几乎是...
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