本发明一种离子注入系统机械真空泵油组合物属于压缩机润滑剂领域。
背景技术：
：离子注入技术就是一种把掺杂剂的原子引入固体的一种材料改性的方法。其原理是，在真空环境中经过加速的需要掺杂的原子在离子照射(注入)固体材料，从而在所选择的区域形成一个具有特殊性质的表面层(注入层)。离子注入首先是作为一种半导体材料的掺杂技术发展起来。具有低温掺杂，精确地剂量控制，掩获容易，均匀性好这些优点。对于大规模和超大规格集成电路来说，离子注入是一种理想的掺杂工艺。离子注入层是极薄的，同时，离子束的直进性保证注入的离子几乎是垂直地向掺杂，横向扩散及其微小，这样就可以使电路的线条更加纤细，线条间距进一步缩短，从而极大的提高集成度；另外，离子注入技术的高精度和高均匀性，可大幅提高集成电路的成品率。离子注入已经成为半导体器件和集成电路生产的关键工艺之一。而这种材料加工工艺是在高真空度环境下进行的。现有的机械真空泵油应用于离子注入系统，机械真空泵不能很好解决低温掺杂、精确地剂量控制、掩获不容易、均匀性不好的技术问题。技术实现要素：本发明的目的是提供一种具有良好的热氧化安定性、抗氧性、密封材料相溶性、低温流动和扩散性、抗泡、抗乳化、抗氧防腐、防锈蚀性、抗辐射、抗强电磁场性能的离子注入系统机械真空泵油组合物，使系统具备低温掺杂、精确地剂量控制、掩获容易、均匀性好的优点。本发明采用如下技术方案解决上述技术问题：一种离子注入系统机械真空泵油组合物，采用质量比50％的全氟碳油和50％的全氟ⅰ型聚醚复合作为基础油，配合多种复合添加剂，其各自质量百分数的成分组成：组分质量百分比含量基础油余量抗氧防腐剂0.5％～1.5％稳定剂0.4％～0.6％防锈剂0.1％～0.3％以上各组分的质量百分比含量为100％。抗氧防腐剂是质量比50％磷代三嗪和50％的三芳基磷酸酯复合。稳定剂是苯并咪唑。防锈剂是质量比50％的三氟醚烷基苯基磷和50％的全氟辛基磺酸复合。本发明的优点是：本发明的离子注入系统机械真空泵油组合物具有良好的热氧化安定性、抗氧性、密封材料相溶性、低温流动和扩散性、抗泡、抗乳化、抗氧防腐、防锈蚀性、抗辐射、抗强电磁场性能，使系统具备低温掺杂、精确地剂量控制、掩获容易、均匀性好的优点。具体实施方式实施例1：将下列各组分按百分比含量调和而成：组分质量百分比含量质量比50％的全氟碳油和50％的全氟ⅰ型聚醚余量质量比50％磷代三嗪和50％的三芳基磷酸酯1％苯并咪唑0.5％质量比50％的三氟醚烷基苯基磷和50％的全氟辛基磺酸0.2％以上组分质量百分比总和为100％。实施例2：将下列各组分按百分比含量调和而成：组分质量百分比含量质量比50％的全氟碳油和50％的全氟ⅰ型聚醚复合余量质量比50％磷代三嗪和50％的三芳基磷酸酯1.1％苯并咪唑0.5％质量比50％的三氟醚烷基苯基磷和50％的全氟辛基磺酸0.2％以上组分质量百分比总和为100％。实施例3：将下列各组分按百分比含量调和而成：组分质量百分比含量质量比50％的全氟碳油和50％的全氟ⅰ型聚醚复合余量质量比50％磷代三嗪和50％的三芳基磷酸酯1.1％苯并咪唑0.6％质量比50％的三氟醚烷基苯基磷和50％的全氟辛基磺酸0.2％以上组分质量百分比总和为100％。实施例1典型技术指标：项目质量指标40℃运动粘度/(mm2﹒s-1)128.5粘度指数131密度(20℃)kg/l1.88凝点/℃-67闪点/℃(开口)310分解温度/℃388蒸发损失(22h,100℃)％0.8四球机试验pb/n880烧法负荷pd/n4230摩擦系数0.21承载能力，齿轮机(fzg)试验/失效等级11氧化安定性(旋转氧弹，150℃)/h7630橡胶密封适应性指数6击穿电压(2.5mm)/kv81低温动力粘度2040(-50℃)介质损耗因数(90℃)0.0019析气性/(μl/min)+4实施例2典型技术指标：项目质量指标40℃运动粘度/(mm2﹒s-1)129.9粘度指数134密度(20℃)kg/l1.91凝点/℃-67闪点/℃(开口)311分解温度/℃389蒸发损失(22h,100℃)％0.8四球机试验pb/n884烧法负荷pd/n4232摩擦系数0.21承载能力，齿轮机(fzg)试验/失效等级11氧化安定性(旋转氧弹，150℃)/h7620橡胶密封适应性指数6击穿电压(2.5mm)/kv80低温动力粘度2065(-50℃)介质损耗因数(90℃)0.0017析气性/(μl/min)+2实施例3典型技术指标：项目质量指标40℃运动粘度/(mm2﹒s-1)127.2粘度指数136密度(20℃)kg/l1.90凝点/℃-68闪点/℃(开口)313分解温度/℃392蒸发损失(22h,100℃)％0.8四球机试验pb/n887烧法负荷pd/n4241摩擦系数0.22承载能力，齿轮机(fzg)试验/失效等级11氧化安定性(旋转氧弹，150℃)/h7660橡胶密封适应性指数6击穿电压(2.5mm)/kv79低温动力粘度2050(-50℃)介质损耗因数(90℃)0.0018析气性/(μl/min)+3当前第1页12