技术编号:11274454
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种数据信号的标准图案生成方法及装置。更详细而言,涉及一种生成从设备的传感器收集到的数据信号的标准图案的方法及执行该方法的标准图案生成装置。背景技术在如半导体工艺那样制造工艺由多个步骤构成的制造环境的情况下,为了进行产品的质量管理,需要判断工艺的各步骤是否正常执行。因此,执行工艺的各步骤的制造设备具备用于检测设备是否正常操作的传感器。此时,工艺管理者可通过分析从传感器收集到的感测信号,判断制造设备是否正常操作。但是,在如半导体工艺那样通过大规模生产线按时间序列进行各工艺的情况下,需要迅...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。