数据信号的标准图案生成方法及装置与流程

本发明涉及一种数据信号的标准图案生成方法及装置。更详细而言，涉及一种生成从设备的传感器收集到的数据信号的标准图案的方法及执行该方法的标准图案生成装置。

背景技术：

在如半导体工艺那样制造工艺由多个步骤构成的制造环境的情况下，为了进行产品的质量管理，需要判断工艺的各步骤是否正常执行。因此，执行工艺的各步骤的制造设备具备用于检测设备是否正常操作的传感器。此时，工艺管理者可通过分析从传感器收集到的感测信号，判断制造设备是否正常操作。

但是，在如半导体工艺那样通过大规模生产线按时间序列进行各工艺的情况下，需要迅速判断执行工艺的各步骤的制造设备是否正常操作。为了这种迅速的判断，可考虑生成收集到的感测信号的标准图案并将该标准图案用作判断基准的方法。这是因为，在存在作为判断基准的标准图案的情况下，制造工艺的管理者可通过对标准图案和判断对象信号进行比较来直观且迅速地判断制造设备是否发生异常。

尽管如此，还未提供有在重复的感测信号之间产生时间延迟的情况下通过感测信号的时间补偿来生成标准图案的方法。特别是，未提供有将感测到的信号的高度值差反映到标准图案的方法。

由此，产生如下问题：当感测到与标准图案具有高度值差的信号时，即使感测到的信号值在容许限度内，也判断为该制造设备发生异常。这会在具备大规模生产线的制造环境下导致频繁的运行中止及再次运行，从而产生生产力变差的问题。

技术实现要素：

本发明所要解决的技术问题在于提供一种能够生成多个数据信号之间的标准图案的方法及装置。

具体而言，本发明所要解决的技术问题在于提供一种通过对具有时间延迟的重复图案的数据信号进行排序来生成最佳的标准图案的方法及装置。

本发明所要解决的另一技术问题在于提供一种生成反映了作为收集到的数据信号值的容许限度的上限值及下限值的标准图案的方法及装置。

本发明所要解决的又一技术问题在于提供一种通过对生成的标准图案和收集到的数据信号进行比较来判断向管理者发送数据信号的设备是否正常操作的方法及装置。

本发明的技术问题并不限定于以上所提及的技术问题，本领域技术人员能够从下面的记载中明确理解没有提及的其它技术问题。

为了解决上述技术问题，数据信号的标准图案生成方法为从多个信号集合中生成由信号的长度、中心线、上限和下限构成的标准图案的方法，该方法包括以下步骤：在对多个信号集合中的任意两个信号进行排序时，接收第一数据信号和第二数据信号；针对所述第一数据信号和所述第二数据信号，分别确定标准图案长度；按所确定的标准图案长度对所述第一数据信号和所述第二数据信号进行采样；对分别采样到的所述第一数据信号和所述第二数据信号进行排序；以及通过将排序后的第一数据信号和第二数据信号叠加来生成所述第一数据信号和所述第二数据信号的标准图案。此时，生成的所述标准图案可包含反映了利用所述排序后的第一数据信号和第二数据信号的高度值来确定的上限值和下限值的标准图案。

此外，为了解决上述技术问题，数据信号的标准图案生成装置包括：一个以上的处理器；网络接口，用于接收数据信号；存储器，用于加载(load)由所述处理器执行的计算机程序；以及贮存器，用于存储所述计算机程序和数据信号的高度值，所述计算机程序包括以下操作：接收第一数据信号和第二数据信号；针对所述第一数据信号和所述第二数据信号，分别确定标准图案长度；按确定的标准图案长度对所述第一数据信号和所述第二数据信号进行采样；对分别采样到的所述第一数据信号和所述第二数据信号进行排序；以及通过将排序后的第一数据信号和第二数据信号叠加来生成所述第一数据信号和所述第二数据信号的标准图案。此时，生成的所述标准图案可包含反映了利用所述排序后的第一数据信号和第二数据信号的高度值来确定的上限值和下限值的标准图案。

此外，为了解决上述技术问题，计算机程序为了与计算装置相结合来执行以下步骤而存储在存储介质中：接收第一数据信号和第二数据信号；针对所述第一数据信号和所述第二数据信号，分别确定标准图案长度；按确定的标准图案长度对所述第一数据信号和所述第二数据信号进行采样；对分别采样到的所述第一数据信号和所述第二数据信号进行排序；以及通过将排序后的第一数据信号和第二数据信号叠加来生成所述第一数据信号和所述第二数据信号的标准图案。此时，生成的标准图案可包含反映了利用所述排序后的第一数据信号和第二数据信号的高度值来确定的上限值和下限值的标准图案。

根据本发明，具有提供用于判断设备是否发生异常状态的标准图案的效果。具体而言，根据本发明，具有提供如下方法的效果：可通过从设备接收数据信号并与标准图案进行比较，判断设备是否处于正常操作中。

此外，根据本发明，具有提供能够监视设备是否正常操作的装置的效果。此外，具有提供如下装置的效果：在设备未正常操作的情况下，能够控制设备的运行状态。

根据本发明，具有提供如下方法的效果：能够去除反复接收的数据信号的随时间延迟而产生的时间失真现象，并生成标准图案。

根据本发明，具有提供如下方法的效果：通过对信号值的大小各不相同的信号值考虑设备方面的容许限度来生成反映了上限值和下限值的标准图案。

附图说明

图1是本发明一实施例的标准图案生成系统的结构图。

图2是本发明另一实施例的标准图案生成装置的方框图。

图3是本发明又一实施例的标准图案生成方法的流程图。

图4是在本发明的几种实施例中所参照的、数据信号的示例。

图5是本发明又一实施例的数据信号的排序方法的流程图。

图6是用于说明在本发明的几种实施例中所参照的、两个信号之间的交叉程度的示意图。

图7是在本发明的几种实施例中所参照的、排序后的数据信号的示例。

图8是在本发明的几种实施例中所参照的、数据信号的标准图案的示例。

图9是本发明又一实施例的标准图案和判断对象数据信号的比较信息的显示的示例。

图10是在本发明的几种实施例中所参照的、用于控制设备的用户界面的示例。

图11是在本发明的几种实施例中所参照的、用于修改图案的用户界面的示例。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的优选实施例进行详细说明。参照附图的同时参照详细地后述的实施例，本发明的优点及特征以及实现这些的方法将会明确。但是，本发明并不限定于以下所公开的实施例，而是可以以彼此不同的多种方式实现，本实施例仅仅用于完整地公开本发明，并且为了向本发明所属技术领域的技术人员完整地告知本发明的范围而提供的，本发明仅由权利要求的范围定义。在说明书全文中相同的附图标记指相同的结构要素。

如果没有其它定义，则在本说明书中所使用的所有用语(包括技术用语及科技用语)能够以本发明所属技术领域的技术人员共同理解的含义使用。另外，在通常使用的词典中定义的用语只要没有被明确地特别定义，就不能理想地或过度地解释。在本说明书中所使用的用语用于说明实施例，并不旨在限制本发明。在本说明书中，单数形式只要在句子中未特别提及就可以包括复数形式。

图1是本发明一实施例的标准图案生成系统的结构图。参照图1，标准图案生成系统可包括标准图案生成装置100、监视装置110和多个设备。在图1中作为多个设备的例子图示了设备1200、设备2210、设备3220和设备4230。图示的设备数量仅为示例，标准图案生成系统可包括比图示数量的设备更多数量的设备或更少数量的设备。即，标准图案生成系统也可以仅包括一个设备。

标准图案生成装置100是能够与构成标准图案生成系统的其它结构要素进行通信的计算装置。标准图案生成装置100可从多个设备200、210、220、230接收数据信号。此时，标准图案生成装置100可通过收集从多个设备200、210、220、230中所包含的各个设备接收到的数据信号来生成图案。

例如，标准图案生成装置100可通过从设备1200反复地接收数据信号来生成接收到的数据信号的标准图案。此外，标准图案生成装置100也可以用相同的方法生成设备2210、设备3220和设备4230所发送的各个数据信号的标准图案。

即，标准图案生成装置100可从多个设备200、210、220、230或各设备接收多个数据信号。在接收到预先设定的数量以上的数据信号时，标准图案生成装置100可通过对数据信号进行统计分析来生成数据信号的标准图案。

标准图案生成装置100从多个设备200、210、220、230接收的数据信号可以是离散信号(discretesignal)。例如，数据信号可以是由多个设备200、210、220、230中的每一个感测到的特定感测值的离散信号。但是，本发明并不限定于此，数据信号也可以是连续信号(continuoussignal)。

标准图案生成装置100可存储所生成的各设备的数据信号的标准图案。此外，标准图案生成装置100也可以将生成的所述标准图案提供给监视装置110。

监视装置110可以是能够与标准图案装置100及多个设备200、210、220、230进行通信的计算装置。特别是，监视装置110可接收并显示由标准图案生成装置100生成的、各设备的数据信号的标准图案。

监视装置110可从多个设备200、210、220、230中的每一个接收数据信号。根据本发明另一实施例，对于多个设备200、210、220、230中的每一个，监视装置110也可以通过标准图案装置100来接收多个设备200、210、220、230中的每一个的数据信号。此外，监视装置110也可以显示对标准图案与接收到的数据信号进行比较的影像信息。

图1中特别地图示了监视装置110是与标准图案生成装置100分离的结构的情况，但这只不过是示例，本发明并不限定于此。上述的标准图案生成装置100和监视装置110中的至少一个装置也可以控制系统上的多个设备200、210、220、230中的每一个的操作。例如，标准图案生成装置100可中止设备1200的运行。在另一例中，在设备2210处于运行中止状态的情况下，标准图案生成装置100可进行控制使得处于运行中止状态中的设备2210再次运行。为了控制所述各设备，标准图案生成装置100可向各设备发送控制命令。

另外，多个设备200、210、220、230可以是执行各个特定工艺或执行特定工艺的部分步骤的设备。多个设备200、210、220、230中的每一个可包括用于与标准图案生成装置100和监视装置110进行通信的通信模块。此外，多个设备200、210、220、230可包括用于感测各个设备的操作状态是否正常的传感器。多个设备200、210、220、230也可以进一步包括用于感测各个设备的内部和/或外部环境、在设备中正在被制造的产品的状态的传感器。

多个设备200、210、220、230也可以将由所述传感器感测到的结果作为数据信号发送给标准图案生成装置100。

例如，所述多个设备200、210、220、230可以是在半导体制造工艺中被利用的各种设备。在这种情况下，所述多个设备200、210、220、230也可以是按一系列顺序执行工艺的各步骤的设备。即，在设备1200、设备2210、设备3220和设备4230中按顺序执行工艺的步骤，每当此时标准图案生成装置100可从各设备的传感器接收感测到的各种信息作为数据信号。

在一个设备具备多个传感器的情况下，标准图案生成装置100可针对从多个传感器中的每一个收集到的每个数据信号生成标准图案。此外，根据本发明另一实施例，标准图案生成装置100也可以生成从多个传感器收集到的数据信号的组合的标准图案。

图2是本发明另一实施例的标准图案生成装置的方框图。以下，参照图2，对标准图案生成装置100的结构和操作进行详细说明。

参照图2，标准图案生成装置100可包括：一个以上的处理器101；网络接口102，用于接收数据信号；存储器103，用于加载(load)由处理器101执行的计算机程序；以及贮存器104，用于存储计算机程序和所述数据信号值。此外，标准图案生成装置100也可以包括监视装置110，所述监视装置110用于显示标准图案及对判断对象数据信号和标准图案进行比较的影像信息。与图1不同，图2中特别地以监视装置110是标准图案生成装置100的结构要素的情况为例进行了图示。

处理器101控制标准图案生成装置100的各结构的整体操作。处理器101可包括cpu(centralprocessingunit，中央处理器)、mpu(microprocessorunit，微处理器单元)、mcu(microcontrollerunit，微控制器单元)或本发明的技术领域中众所周知的任意形式的处理器。此外，处理器101可执行用于执行本发明实施例的方法的至少一个应用或关于程序的运算。标准图案生成装置100可具备一个以上的处理器。

网络接口102支持标准图案生成装置100的有线无线网络通信。此外，网络接口102也可以支持网络通信之外的各种通信方式。因此，网络接口102可包括本发明的技术领域中众所周知的通信模块。

网络接口102可通过网络从图1所示的多个设备200、210、220、230收发数据。特别是，可从多个设备200、210、220、230中的每一个接收数据信号。此外，网络接口102也可以向所述多个设备200、210、220、230中的每一个发送与各设备的操作相关联的控制命令。

存储器103存储各种数据、命令和/或信息。存储器103可从贮存器104加载一个以上的程序105，以执行本发明实施例的自动化测试执行方法。图2中作为存储器103的示例图示了ram。

贮存器104可以非暂时性地存储所述一个以上的程序105和数据信号值106。图2中作为所述一个以上的程序105的示例图示了标准图案生成软件。

所述数据信号值106例如可以是由各设备的传感器测量的关于各设备是否正常运行的感测结果值。标准图案生成装置100可将所述感测结果值作为数据信号来接收，并存储为具有特定值的数据信号值。在本说明书中，也可以用数据信号的高度值来表示数据信号值。

贮存器104可包括如rom(readonlymemory，只读存储器)、eprom(erasableprogrammablerom，可擦除可编程只读存储器)、eeprom(electricallyerasableprogrammablerom，电可擦除可编程只读存储器)、快闪存储器等的非易失性存储器，硬盘，装卸式磁盘或本发明所属技术领域中众所周知的任意形式的计算机可读存储介质。

在生成标准图案之后通过网络接口102接收到第三数据信号的情况下，监视装置110可显示接收到的第三数据信号的高度值是否落在生成的标准图案的所述上限值和所述下限值的范围内。在另一实施例中，监视装置110也可以通过输出特定声音或者输出光源来通知接收到的第三数据信号的高度值是否落在生成的标准图案的所述上限值和所述下限值的范围内。

此外，在接收到的所述第三数据信号的高度值落在所述上限值和所述下限值的范围之外的情况下，监视装置110也可以显示用于控制发送所述第三数据信号的设备的用户界面。监视装置110可包括本发明所属技术领域中众所周知的形式的显示模块、声音装置和光源中的至少一种。

另外，在输入所述设备的运行中止命令的情况下，网络接口102可通过显示在监视装置110上的所述用户界面将输入的运行中止命令发送给所述设备。

接着，参照图3，对所述标准图案生成装置100所执行的标准图案生成方法进行再次说明。

图3是本发明又一实施例的标准图案生成方法的流程图。以下的各步骤通过标准图案生成装置100运行标准图案生成软件105来执行。

下面，对标准图案生成装置100利用第一数据信号和第二数据信号来生成数据信号的标准图案的方法进行说明，但并非本发明实施例的标准图案生成装置100被限定于通过接收两个数据信号来生成标准图案。即，在本发明的实施例中，为了生成标准图案而利用第一数据信号和第二数据信号是指为了生成标准图案生成装置100的数据信号的标准图案而利用多个数据信号。例如，标准图案生成装置100可以接收预先设定的个数(n个)以上的数据信号以具有统计学意义，并利用数据信号来生成数据信号的标准图案。

参照图3，标准图案生成装置100可接收第一数据信号和第二数据信号s10。第一数据信号和第二数据信号可以是标准图案生成装置100在彼此不同的时间接收到的数据信号。

标准图案生成装置100可以针对接收到的第一数据信号和第二数据信号分别确定标准图案长度s20。此外，标准图案生成装置100按确定的标准图案长度对所述第一数据信号和所述第二数据信号进行采样s30。

参照图4，对步骤s20和步骤s30进行详细说明。

图4是在本发明的几种实施例中所参照的、数据信号的示例。

在图4中，假设数据信号401和数据信号402均为由相同的设备发送并由标准图案生成装置100接收的信号。

数据信号401在特定时间范围内包含具有相同大小a的长度l1的信号、长度l2的信号和长度l3的信号。

数据信号402在特定时间范围内包含具有相同大小b的长度d1的信号、长度d2的信号和长度d3的信号。

上述长度l1、l2、l3、d1、d2、d3可分别具有不同的长度值。此外，上述长度l1、l2、l3、d1、d2、d3中的一部分长度也可以具有彼此相同的长度值。

标准图案生成装置100可针对数据信号401中所包含的上述多个信号确定标准图案长度。此外，标准图案生成装置100也可针对数据信号402中所包含的上述多个信号确定标准图案长度。此时，可通过考虑上述多个信号的长度的平均值(average)、中值(median)和根据上述多个信号生成的时间顺序的指数加权移动平均值(exponentialweightedmovingaverage)中的至少一个值来确定标准图案长度。此外，也可以用本发明所属技术领域中众所周知的方法来确定标准图案长度。

以利用中值来确定标准图案长度的情况为例进行说明。在长度l1是长度l2和长度l3的平均值的情况下，数据信号401的标准图案长度被确定为长度l1。此外，在长度d2是长度d1和长度d3的平均值的情况下，数据信号402的标准图案长度被确定为长度d2。

标准图案生成装置100可以用作为标准图案长度的长度l1来对数据信号401进行采样。此外，标准图案生成装置100也可以用作为标准图案长度的长度d2来对数据信号402进行采样。

再次参照图3，标准图案生成装置100可对各个采样到的第一数据信号和第二数据信号进行排序s40。

接着，标准图案生成装置100可通过将排序后的第一数据信号和第二数据信号叠加来生成第一数据信号和第二数据信号的标准图案s50。此时，生成的标准图案可以是反映了利用排序后的第一数据信号和第二数据信号的高度值来确定的上限值和下限值的标准图案。

下面，参照图5及图6，对上述步骤s40的数据信号排序方法及利用标准图案的高度值的标准图案生成方法进行详细说明。

图5是关于本发明又一实施例的数据信号的排序方法的流程图。

参照图5，在图3的步骤s40中，标准图案生成装置100可使采样到的第一数据信号以预先设定的单位时间为单位移动s41。

即，由于采样到的第一数据信号和第二数据信号具有时间延迟关系，因此需要两个信号之间的时间排序。首先对第一数据信号是时间延迟的信号的情况进行说明。假设所述预先设定的单位时间为时间t＝1。

下面，为了方便说明，将第一数据信号称为数据信号x，将第二数据信号称为数据信号y。各个信号是离散信号数据，可用x＝(x1，x2，……，xt)、y＝(y1，y2，……，yu)(t≤u)表示。由于数据信号的长度可能彼此不同，因此t和u可具有彼此不同的值。

此时，xt是在时间t从设备接收到的数据信号的信号值。在本说明书中，也可以用信号的高度值来表示信号值。对于信号值，在接收到数据信号x、y的情况下，标准图案生成装置100生成复制数据信号x的信号x’和复制数据信号y的信号y’。

根据数据信号x的时间延迟程度，标准图案生成装置100可使信号x’相对于数据信号y向左侧以1为单位移动。即，由于数据信号x是延迟的信号，因此使x’向左侧以1为单位移动，消除时间延迟，从而将信号x’排序到数据信号y。

在离散信号的情况下，可用时间延迟次数来表示时间延迟程度。可用(dx:＝0)dx:＝dx+1的数学式来确定数据信号x的时间延迟次数。此时，信号x’在所述移动下的信号值满足x’t:＝x’t+1。此外，由于通过所述移动来对数据信号x反映一次时间延迟次数，因此从信号x’中去除x’1。即，由于数据信号x的时间延迟，信号x’具有t-1长度的信号。

此时，标准图案生成装置100可测量信号x’和数据信号y的高度值。所述信号x’是反映了时间延迟的信号。在此，信号x’和数据信号y的高度值是指作为信号x’和数据信号y在各时间t下的信号值的x’t和yt。

标准图案生成装置100可利用测量到的高度值来确定数据信号x和数据信号y的图案差异。标准图案生成装置100可利用所述图案差异来对数据信号x和数据信号y进行排序。以下，对图案差异确定方式进行详细说明。

在上述数据信号x延迟的情况下，标准图案生成装置100测量采样到的两个信号之间的高度值。此时，当所述两个信号的测量到的高度值的差具有最小值时，标准图案生成装置100可判断信号x’的移动次数。

此外，标准图案生成装置100可利用判断出的信号的移动次数来将时间延迟的数据信号x排序到数据信号y。

具体而言，在信号x’的移动期间，标准图案生成装置100可利用所述测量到的高度值来计算信号x’和数据信号y的大小差异。所述信号x’和数据信号y的大小差异计算满足以下的数学式1)。此外，标准图案生成装置100可记录计算出的d(xt，yt)。

数学式1)d(xt，yt)＝|xt-yt|.

此时，标准图案生成装置100可通过检索在信号x’的移动期间记录的d(xt，yt)值中的最小值来确定此时的dx值，即数据信号x的时间延迟次数。

在通过反映所述时间延迟次数来对数据信号x进行排序的情况下，数据信号x被排序如下。

x＝(xdx，xdx+1，…，xt)

在本发明另一实施例中，标准图案生成装置100不仅比较所述测量到的两个信号之间的高度值，而且也可以通过考虑两个信号之间的相关关系来确定两个信号的图案差异。

可利用以下的数学式2)来获得表示数据信号x与数据信号y的相关关系的相关系数。

数学式2)

标准图案生成装置100可通过利用上述数学式1)计算所述两个信号之间的高度值的差，并且利用上述数学式2)计算两个信号之间的相关系数，来确定数据信号x与数据信号y之间的图案差异。

可利用以下的数学式3)来获得反映了两个信号之间的高度值的差及相关系数的图案差异。

数学式3)

其中，n表示数据信号x和数据信号y所叠加的长度。在上述数学式3)中，通过上述数学式2)获得的相关系数被置换为φk函数。这是为了将所述相关系数反映到图案差异中，φk函数被记载在以下的数学式4)中。

数学式4)

在上述数学式4)中，u是数学式2)的结果值。此外，被用作系数的k是用于明确地表示两个信号的图案差异的值，可通过实验来确定k。例如，可以是k＝2，但本发明并不限定于此。

以上，主要对数据信号x发生时间延迟的情况进行了说明。随着信号x’移动规定的时间次数，可实现两个信号之间的时间排序，但还可能发生未时间排序的情况。

在该情况下，为了确定上述数据信号x和数据信号y的图案差异，标准图案生成装置100使作为延迟信号的信号x’进一步移动，或者在假定数据信号y延迟之后使信号y’移动。

此时，在使信号x’移动至末尾之后使信号y’移动的情况下，为了信号之间的排序而有可能需要不必要的时间。因此，标准图案生成装置100可在步骤s41之后，判断信号x’和数据信号y的交叉程度是否为预先设定的值以上s42。其中，交叉程度可通过分析作为比较对象的两个信号的高度值的倾向来判断。参照图6的图表610，对此进行说明。

图6是用于说明在本发明的几种实施例中所参照的、两个信号之间的交叉程度的示意图。图6中用信号601来表示采样到的数据信号x，并且用信号602来表示采样到的数据信号y。此外，用虚线605来表示信号601和信号602的平均值。

由于在图表610中信号601为延迟信号，因此使其向左侧移动一格。当时间t＝a1时，信号601的高度值为a，信号602的高度值为b。a和b均位于点线605之上。此时，可描述为在时间t＝a1信号601和信号602交叉。

相反，在时间t＝a2时，虽然信号601的高度值位于虚线605之上，但信号602的高度值位于虚线605之下。此时，可描述为在时间t＝a2信号601和信号602不交叉。

在通过使采样到的信号601移动而交叉程度为预先设定的值以上的情况下，标准图案生成装置100可使信号x’进一步移动s43。

在执行步骤s43之后，标准图案生成装置100可测量信号x’和数据信号y的高度值s45。标准图案生成装置100可利用测量到的高度值来确定数据信号x和数据信号y之间的图案差异s46。

相反，在交叉程度小于预先设定的值的情况下，标准图案生成装置100视为数据信号y发生时间延迟，并使信号y’移动s44。在执行步骤s44之后，标准图案生成装置100可测量数据信号x和信号y’的高度值s45。以下，对在数据信号y是时间延迟的信号的情况下数据信号的排序过程进行说明。

标准图案生成装置100可根据数据信号y的时间延迟程度来使信号y’相对于数据信号y向左侧以1为单位移动。即，由于数据信号y是延迟的信号，因此通过使信号y’向左侧以1为单位移动，寻找未延迟时的位置。

在离散信号的情况下，可用时间延迟次数来表示时间延迟程度。

可用数学式(dy:＝0)dy:＝dy+1来确定数据信号y的时间延迟次数。此时，信号y’在所述移动下的信号值满足y’u:＝y’u+1。此外，由于通过所述移动来对数据信号y反映一次时间延迟次数，因此去除y’1。即，由于数据信号y的时间延迟，信号y’具有u-1长度的信号。

在数据信号y发生延迟的情况下，也与数据信号x发生延迟的情况相同，标准图案生成装置100测量采样到的两个数据之间的高度值。此时，当所述两个信号的测量到的高度值的差具有最小值时，标准图案生成装置100可判断信号y’的移动次数。

此外，标准图案生成装置100可利用判断出的信号的移动次数来将时间延迟的数据信号y排序到数据信号x。

此时，标准图案生成装置100可通过检索在信号y’的移动期间记录的d(xt，yt)值中的最小值来确定此时的dy值，即数据信号y的时间延迟次数。

在反映所述数据信号y的时间延迟次数来对数据信号x进行排序的情况下，数据信号x被排序如下。

图7是在本发明的几种实施例中所参照的、排序后的数据信号的示例。参照图7，图表710表示未反映第一数据信号711和第二数据信号715的时间延迟的情况。在图表710的情况下，第一数据信号711和第二数据信号715的各点表示离散信号在时间t下的各个高度值。

相反，图表720表示通过时间延迟的第一数据信号711的时间补偿来补偿后的第一数据信号721与第二数据信号715排序的状态。在所述排序的状态下，标准图案生成装置100可生成如图8所示的标准图案。

图8是在本发明的几种实施例中所参照的、数据信号的标准图案的示例。

参照图8，在图3的步骤s50中标准图案生成装置100可生成数据信号的标准图案800。此外，生成的标准图案可以是反映了上限值810和下限值820的标准图案。

假设标准图案生成装置100从发送第一数据信号和第二数据信号的设备接收到第三数据信号。在这种情况下，如果第三数据信号遵循标准图案800，则设备在发送第三数据信号的时刻也处于正常操作中。但是，即使在接收到的第三数据信号不遵循标准图案800的情况下，设备也有可能处于正常操作中。例如，即使设备处于正常操作中，第三数据信号值也有可能因设备与标准图案生成装置100之间的通信环境或其它理由而大于或小于标准图案800的信号值。此外，即使第三数据信号值大于或小于标准图案800的信号值，也有可能呈现出由设备执行的工艺质量在容许限度范围内的结果。

在这种情况下，为了将第三数据信号识别为正常信号，标准图案生成装置100可在规定的误差范围内确定标准图案800的上限值810和下限值820。其中，误差范围是指能够认定发送第三数据信号的设备的操作状态正常的第三数据信号值的范围。

可通过对收集到的数据信号的值进行统计分析来确定所述误差范围。例如，标准图案生成装置100可通过考虑数据信号值的标准差(standarddeviation)、变异系数(coefficientofvariation)、偏度(skewness)和峰度(kurtosis)中的至少一种，来确定所述上限值810和下限值820。在另一实施例中，也可以由标准图案生成装置100的管理者来设定标准图案800的上限值和下限值。

在第三数据信号的值落在所述上限值810和下限值820的范围内的情况下，标准图案生成装置100可判断为第三数据信号是正常信号。即，标准图案生成装置100可判断为发送第三数据信号的设备正常操作。

另外，在数据信号的排序过程中可去除接收到的数据信号值中的异常值。即，标准图案生成装置100可去除在排序后的第一数据信号和第二数据信号的高度值中具有临界值以上的偏差的异常值。这是因为，由于系统错误或环境因素而可能接收具有临界值以上的偏差的数据信号值。其中，可由标准图案生成装置100的管理者来设定临界值。特别是，可将临界值设定为比用于通知设备非正常的非正常信号的高度值的最大值更大的值。

图9是本发明又一实施例的标准图案和判断对象数据信号的比较信息的显示的示例。

参照图9，在图3的步骤s50中生成标准图案800之后，标准图案生成装置100可接收第三数据信号。此外，标准图案生成装置100可判断接收到的第三数据信号是否落在生成的标准图案800的上限值810和所述下限值820的范围内。在上述判断结果，接收到的第三数据信号的高度值未落在上限值810和下限值820的范围内的情况下，标准图案生成装置100可输出关于此的通知。其中，对于通知方式而言，可根据监视装置110的结构来利用显示、声音输出、光源输出等多种方式。

在图9中，作为例子示出了在第一时刻第三数据的值具有高度值910，而在与所述第一时刻不同的第二时刻第三数据的值具有高度值920的情况。虽然高度值910大于标准图案800的高度值，但位于上限值810的范围以内。即，在第一时刻，发送第三数据信号的设备处于正常操作中。

相反，高度值920位于上限值810的范围之外。即，可知在第二时刻所述设备未正常操作。在这种情况下，标准图案生成装置100的监视装置110可输出用于通知所述设备非正常的通知。

图10是在本发明的几种实施例中所参照的、用于控制设备的用户界面的示例。

如上所述，标准图案生成装置100可通过监视装置110来输出用于通知设备非正常的通知。图10的用户界面1000是所述通知的示例。参照图10，用户界面1000可包括用于通知在设备1200中检测到异常信号的信息1001。此外，用户界面1000也可以包括用于接收用户输入的区域1002，所述用户输入用于控制设备1200。标准图案生成装置100可通过区域1002来接收用于命令设备1200中断运行的用户输入。此外，标准图案生成装置100可将输入的运行中断命令发送给设备1200。在设备1200接收到所述运行中断命令的情况下，可中断运行。

图11是在本发明的几种实施例中所参照的、用于修改图案的用户界面的示例。

在图3的步骤s50中生成标准图案之后，即使发送数据信号的设备正常操作，也继续接收落在标准图案的上限值和下限值的范围之外的数据信号值的情况下，在标准图案生成过程中有可能存在错误。例如，在确定第一数据信号和第二数据信号的标准图案长度的过程中产生错误，或者在利用接收到的数据信号的统计信息来确定的上限值和下限值中存在错误。在生成标准图案的过程中设备的传感器异常、标准图案生成装置100与设备之间的通信错误、在标准图案生成中所利用的数据信号的数量过少等情况时，有可能产生如上所述的错误。

参照图11，在该情况下，标准图案生成装置100可接收所生成的标准图案的反馈信息。因此，标准图案生成装置100可通过监视装置110来显示用于修改图案的用户界面1100。标准图案生成装置100的管理者可通过所述用户界面1100来输入反馈信息。

所述反馈信息例如可包含请求修改标准图案长度1101及请求设备再次运行后生成标准图案1102的信息。虽然未图示，但反馈信息也可以包含请求重新获取上限值和下限值的信息。

标准图案生成装置100可以以所输入的反馈信息为基础，重新生成所述第一数据信号和所述第二数据信号中的每一个的标准图案。即，在作为反馈信息输入“修改标准图案长度”的情况下，标准图案生成装置100在图3的步骤s20中重新确定标准图案长度，由此可重新生成标准图案。在作为反馈信息输入“请求重新获取标准图案的上限值和下限值”的情况下，标准图案生成装置100可在图3的步骤s50中重新计算上限值和下限值，并重新生成反映了该上限值和该下限值的标准图案。此外，在作为反馈信息输入“设备再次运行后生成标准图案”的情况下，标准图案生成装置100也可以控制并再次运行设备之后，重新生成标准图案。

目前为止参照附图来进行说明的本发明实施例的方法可通过执行以计算机可读代码实现的计算机程序的运行来执行。所述计算机程序可通过互联网等网络从第一计算装置被发送到第二计算装置并被安装在所述第二计算装置中，由此能够在所述第二计算装置中使用。所述第一计算装置和所述第二计算装置均包括服务器装置、如台式电脑的固定式计算装置、笔记本、智能手机、如平板电脑的移动计算装置。

以上参照附图对本发明的实施例进行了说明，但本发明所属技术领域的技术人员应能理解，本发明可不变更本发明的技术思想或必要特征而以其它具体方式实施。因此，应理解为以上所述的实施例在所有方面为示例性的而并非限定性的。