一种金属/聚合物复合三维微纳米结构的制备方法与流程技术资料下载

技术编号:11275216

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本发明属于微纳米加工技术领域,具体涉及一种通过薄膜传递印刷的来制备复杂的金属/聚合物复合三维微纳米结构的方法。背景技术复杂三维金属微纳米结构在光电子器件、生物医学器件、储能系统、微机电系统和超材料等众多领域有广泛的应用前景,成为当前国际上学术界和产业界的研究热点。然而现有的三维微纳米结构的制备及组装方法却有着较大局限性,如传统的光刻技术、扫描电子束刻蚀和聚焦离子束技术等加工成本高、周期长、适用的材料种类少并且不能在非平面基底进行加工,难以满足低成本、批量化制造的应用需求,所以高效的制备复杂三维微...
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