技术编号:11331915
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于在被成膜基板上形成规定图案的蒸镀膜的蒸镀单元、蒸镀装置以及蒸镀方法。背景技术近年来,在各种商品和领域中利用平板显示器,且要求平板显示器进一步大型化、高画质化、低消耗电力化。在这样的状况下,具备利用有机材料的电场发光(电致发光;以下记为「EL」)的有机EL元件的有机EL显示装置,作为全固体型且在低电压驱动、高速响应性、自发光性等方面优异的平板显示器,受到高度关注。有机EL显示装置,例如在有源矩阵方式的情况下,具有如下结构:在设置有TFT(薄膜晶体管)的由玻璃基板等构成的基板上,设置有...
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