技术编号:11348793
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型设计镀膜机技术领域,具体涉及一种镀膜机公转结构。背景技术真空镀膜机主要由以下几部分组成:真空腔体,抽气系统,充气布气系统,加热系统,薄膜沉积控制系统,高压控制系统,低压控制系统,蒸发源系统,工件旋转系统。其功能描述如下:真空腔体:镀膜加工的一个空间抽气系统:使镀膜达到所需的真空度充气布气系统:使气动元件获得足够的气压完成动作加热系统:使基片达到镀膜所需的温度薄膜沉积控制系统:使基片上镀的膜厚达到所需的要求高压控制系统:使蒸发源获得足够的电压低压控制系统:控制镀膜机的元件完成规定的动作蒸...
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