技术编号:11351074
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。MEMS传感器【技术领域】本实用新型涉及一种MEMS传感器,尤其涉及一种具有温度探测功能的MEMS传感器。【背景技术】现有的MEMS传感器具有探测加速度信号、压力信号或者声音信号的功能,但现有的MEMS传感器不能探测传感器周围的环境温度。因此,实有必要提供一种新的技术方案以克服上述缺陷。【实用新型内容】本实用新型提供了一种能实时探测工作环境温度的MEMS传感器。本实用新型的技术方案如下:一种MEMS传感器,所述MEMS传感器包括设有收容空间的封装结构以及设置于所述收容空间中用于探测传感器信号的M...
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