技术编号:11415281
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。:本实用新型涉及到风机过滤单元,尤其是风机化学过滤单元。背景技术:随着半导体、液晶面板、硬盘等电子设备行业产品加工尺寸的细微化,对生产环境清洁度的要求进一步严格。除了一直以来已被关注的尘埃微粒污染之外,AMC(即分子状物质污染)最近已被IC生产厂商高度关注,更被认为是某些加工工序或工序间晶片传送及存放过程中影响成品率的重要因素。化学污染AMC划分成:分子酸(MA)、分子碱(MB)、分子凝缩剂(MC)、分子添加剂(MD)、分子金属(MM)等种类。当今的过滤技术可以将洁净室的粉尘浓度降低到近乎为零,...
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