风机化学过滤单元的制作方法

本实用新型涉及到风机过滤单元，尤其是风机化学过滤单元。

背景技术：
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随着半导体、液晶面板、硬盘等电子设备行业产品加工尺寸的细微化，对生产环境清洁度的要求进一步严格。除了一直以来已被关注的尘埃微粒污染之外，AMC（即分子状物质污染）最近已被 IC 生产厂商高度关注，更被认为是某些加工工序或工序间晶片传送及存放过程中影响成品率的重要因素。化学污染AMC划分成：分子酸（MA）、分子碱（MB）、分子凝缩剂（MC）、分子添加剂（MD）、分子金属（MM）等种类。

当今的过滤技术可以将洁净室的粉尘浓度降低到近乎为零，在芯片上的线宽小到0.5μm时，人们发现空气中的化学污染成了影响成品率的主要危害，于是化学过滤器被芯片厂家普遍应用。

技术实现要素：
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针对以上技术问题，本实用新型设计了风机化学过滤单元，包括箱体，箱体的上端面设置有进风口，下端面设置有出风口，在箱体上端面上位于进风口的一侧设置有控制盒，所述进风口处设置有叶轮，所述叶轮由轴向连接在叶轮下方的电机驱动，所述进风口上方设有安装在箱体上的引流板，所述引流板上层叠式安装第一初效过滤器、第二初效过滤器和化学过滤器，所述化学过滤器设置在第一初效过滤器和第二初效过滤器之间；所述出风口的下端安装有连接在箱体底部的高效过滤器。

进一步地，所述化学过滤器为活性炭过滤器，且第一初效过滤器、第二初效过滤器和化学过滤器的尺寸相等。通过对活性碳进行有针对性的化学处理，能够增强对有特定污染物的吸附能力；第一初效过滤器和第二初效过滤器分别设置在化学过滤器的上方和下方，能够防止空气中大颗粒尘埃粒子堵住化学过滤器的进风端和化学过滤器的出风端产生颗粒。

进一步地，所述叶轮为叶片后倾式的三维立体形状，符合物体在离心力作用下的运动方向，空气在叶片间的流道中逐渐扩大，可比较平稳的增压和加速，能量损失小。

进一步地，所述风机为直流电机，由于直流电机效率很高有助于叶轮克服由第一初效过滤器、第二初效过滤器和化学过滤器形成的高阻力。

更进一步地，所述引流板具有弧形开口。

再进一步的，所述箱体上表面安装有两个对称设置的把手，便于安装和搬运整个风机过滤单元。

与现有技术相比，本实用新型的有益之处是：能够有效的过滤空气中化学污染物；通过叶片为后倾式的三维立体状叶轮进行工作时，大曲率半径的叶片能够符合物体在离心力作用下的运动方向，空气在叶片间的流道中逐渐扩大，可比较平稳的增压和加速，具有高效率、高静压、低能耗等特点，确保了本风机过滤单元在使用寿命内所产生的风速和风压。

附图说明：

下面结合附图对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型主视结构示意图；

图2是本实用新型左视结构示意图；

图3是本实用新型俯视结构示意图。

图中：1、箱体；2、进风口；3、出风口；4、控制盒；5、叶轮；6、电机；7、引流板；8、第一初效过滤器；9、第二初效过滤器；10、化学过滤器；11、高效过滤器；12、把手。

具体实施方式：

如图1、图2和图3所示的风机化学过滤单元，包括箱体1，箱体1的上端面设置有进风口2，下端面设置有出风口3，在箱体1上端面上位于进风口2的一侧设置有控制盒4，而且在箱体1上表面安装有两个对称设置的把手12，便于安装和搬运该风机化学过滤单元；所述进风口2处设置有叶轮5，所述叶轮5由轴向连接在叶轮5下方的电机（6）驱动，所述进风口2上方设有安装在箱体1上的引流板7，所述引流板7具有弧形开口，可以充分的将空气引入风机化学过滤单元中进行过滤；所述引流板7上层叠式安装第一初效过滤器8、第二初效过滤器9和化学过滤器10，所述化学过滤器10设置在第一初效过滤器8和第二初效过滤器9之间；所述出风口3的下端安装有连接在箱体1底部的高效过滤器11，所述化学过滤器10为活性炭过滤器且第一初效过滤器8、第二初效过滤器9和化学过滤器10的尺寸相等。颗粒活性碳具有广谱吸附性，通过对活性碳进行有针对性的化学处理，能够增强对有特定污染物的吸附能力；第一初效过滤器8和第二初效过滤器9分别设置在化学过滤器10的上方和下方，能够防止空气中大颗粒尘埃粒子堵住化学过滤器10的进风端和化学过滤器10的出风端产生颗粒而影响过滤效果。

另外，所述叶轮5为叶片后倾式的三维立体形状，所述电机6为直流电机。由于第一初效过滤器8、第二初效过滤器9和化学过滤器10为层叠式所以在过滤空气过程中阻力较大，而直流电机效率高有助于叶轮5克服阻力；该叶轮5叶片曲率半径大，呈立体三维形状，符合物体在离心力作用下的运动方向，空气在叶片间的流道中逐渐扩大，可比较平稳的增压和加速，能量损失小，因此具有高效率、高静压、低能耗等特点。

需要强调的是：以上仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。