技术编号:11426021
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及玻璃基板技术领域,具体涉及一种MicroLED玻璃基板超声波清洗方法。背景技术玻璃基板清洗是MicroLED液晶玻璃制程中重复使用频率最高的步骤,在每一道制程步骤之前都必须将玻璃基板表面清洗干净,以去除污染物,避免原生氧化物薄膜之生成,随着玻璃基板的尺寸越来越大,对基板表面的洁净度要求也不断提高。玻璃基板洗净的目的在于清除基板表面的污垢的同时,必须确保基板在洗净完成后其电性参数及特性,确保元件的品质与可靠度。发明内容本发明旨在提供了一种MicroLED玻璃基板超声波清洗方法。本发明提供...
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