技术编号:11429078
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及单晶蓝宝石制备工艺技术领域,特别涉及一种M向单晶蓝宝石的制备工艺及M向单晶蓝宝石。背景技术单晶蓝宝石的硬度仅次于金刚石,由于具有优良的物理、机械、化学及红外透光性能,一直是微电子、航空航天、军工等领域急需的材料。大尺寸单晶蓝宝石材料,由于其具有性能稳定、市场需求量大、综合利用率及产品附加值高等特点,成为近年国内外研究开发和产业化热点。单晶蓝宝石单晶的制备技术包括提拉法、焰熔法、坩埚下降法、温度梯度法、导模法、热交换法、水平定向凝固法、泡生法等,其中泡生法是目前世界上公认的最适合大规模工...
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