技术编号：11431413
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种特种扫描探针制作方法及实施该方法的装置，主要用于加工具有特殊形貌的扫描探针，可用于扫描探针显微镜、原子力显微镜、扫描隧道显微镜及其它基于针尖扫描拓展型的超分辨成像系统、近场成像与光谱系统、共焦光学显微机构、微机电集成测量与传感等领域。背景技术在扫描探针显微镜、原子力显微镜、扫描隧道显微镜及其它基于针尖扫描拓展型的超分辨成像系统、近场成像与光谱系统、共焦光学显微机构、微机电集成测量与传感等领域中，扫描探针是核心部件。常用于制备扫描探针的材料有钨丝、金丝、银丝、铂铱合金、金刚石、硅、碳...
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