技术编号:11482588
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及单晶炉领域,特别涉及单晶炉用晶种夹具。背景技术硅单晶作为一种半导体材料,主要用于光伏和半导体领域,大部分半导体硅单晶都是采用直拉法生产。直拉法是利用旋转晶种从盛有硅熔体的坩埚中提拉制备单晶的一种方法,它是通过发热体对承载固态多晶硅原料部分加热,待其熔化完成,固液界面稳定后,将夹持器夹持的柱状晶种浸入溶液,通过旋转使熔体中的硅原子顺着晶种硅原子结构进行有规则的排列,形成单晶体后缓慢提升,熔体中的硅原子沿着已经生长好的单晶体继续结晶,并延续其规则的原子结构排列周而复始的生长,最后形成所...
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