单晶炉用晶种夹具的制作方法

文档序号:11482588阅读:264来源:国知局

本实用新型涉及单晶炉领域,特别涉及单晶炉用晶种夹具。



背景技术:

硅单晶作为一种半导体材料,主要用于光伏和半导体领域,大部分半导体硅单晶都是采用直拉法生产。直拉法是利用旋转晶种从盛有硅熔体的坩埚中提拉制备单晶的一种方法,它是通过发热体对承载固态多晶硅原料部分加热,待其熔化完成,固液界面稳定后,将夹持器夹持的柱状晶种浸入溶液,通过旋转使熔体中的硅原子顺着晶种硅原子结构进行有规则的排列,形成单晶体后缓慢提升,熔体中的硅原子沿着已经生长好的单晶体继续结晶,并延续其规则的原子结构排列周而复始的生长,最后形成所需要的硅晶棒。

但是现有单晶炉的晶种夹具,结构复杂,安装不方便,安装效率低,所以需要设计一种新的晶种夹具来解决上述问题。



技术实现要素:

本实用新型提出了单晶炉用晶种夹具,解决了现有单晶炉的晶种夹具,结构复杂,安装不方便,安装效率低的缺陷。

本实用新型的技术方案是这样实现的:

单晶炉用晶种夹具,包括夹头,夹头上设置有与晶种形状相对应的夹槽,夹槽惯穿夹头的前后,夹槽内设置有固定凸起,夹头外套有沿夹头上下滑动的固定滑套,夹头下端设置有限制固定滑套最低位置的限位装置。

进一步,所述夹槽为矩形夹槽。

进一步,所述固定凸起为矩形凸起或弧形凸起。

进一步,所述限位装置为向外凸起的限位块。

进一步,所述夹头上端还连接有连接杆。

本实用新型的有益效果:本实用新型主要由夹头、夹槽和固定滑套组成,结构简单;使用时,向上移固定滑套,然后将晶种放入夹槽,最后再入下固定滑套即可,操作简单,效率高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型单晶炉用晶种夹具的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

参照图1,单晶炉用晶种夹具,包括夹头1,夹头1上设置有与晶种形状相对应的夹槽2,夹槽2惯穿夹头1的前后,夹槽2内设置有固定凸起3,夹头1外套有沿夹头1上下滑动的固定滑套4,夹头1下端设置有限制固定滑套4最低位置的限位装置5。

优选的,所述夹槽2为矩形夹槽。

优选的,所述固定凸起3为矩形凸起或弧形凸起。

优选的,所述限位装置5为向外凸起的限位块。

优选的,所述夹头1上端还连接有连接杆6。

本实用新型主要由夹头1、夹槽2和固定滑套4组成,结构简单;使用时,向上移固定滑套4,然后将晶种放入夹槽2,最后再入下固定滑套4即可,操作简单,效率高。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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