一种单晶炉炉底保温板的制作方法

本实用新型涉及单晶炉底部保温板领域，更具体地说，涉及一种单晶炉炉底保温板。

背景技术：

目前单晶炉热场中，底部保温由底部铺设石墨软毡（硬毡）和石墨反射板组成，反射板放置到石墨软毡（硬毡）上面，在加热器下部起到保温的作用，减少热量从下部流失。反射板分为石墨上板和石墨下板，之间用石墨螺栓连接,中间夹石墨软毡（硬毡），组成底部保温板。

这种形式的底部保温具有如下缺点：1、石墨材质，成本高，重量大； 2.结构复杂，不利于安装、清理；3.缺少导气结构。

为了解决以上的问题，公告号为“CN 204589368 U”的专利申请，公开了一种单晶炉炉底保温板，该保温板虽然设置了导气孔，但是依然存在以下问题：1、由于导气孔设置的数量有限，很容易在埚托和保温板之间形成紊流，从而使得废气无法及时排出；2、现有导气孔在排废气的时候比较慢。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型提供了一种单晶炉炉底保温板，解决现有技术中存在的问题，具体方案如下：

一种单晶炉炉底保温板，包括底板，底板上设有埚托放置槽；埚托放置槽的侧壁上设置有通风口；

通风口包括相互连通的水平口和竖直口，竖直口侧面和顶部均与外部连通；竖直口的内壁向外倾斜设置；

埚托放置槽内壁上设置有通气槽，通气槽绕埚托放置槽周向设置，通气槽与通风口连通，通气槽与埚托放置槽内壁通过弧形过渡面连接。

埚托放置槽的侧面包括竖直面和位于竖直面上部的斜面，斜面朝向蜗托放置槽外侧倾斜设置。

埚托放置槽的横截面呈圆形，埚托放置槽的中心线与底板的中心线重合。

埚托放置槽的端部上设有至少1个挡板，挡板与埚托放置槽的顶端平齐。

埚托放置槽的顶端上水平设有滑槽，挡板滑动设置于滑槽中。

本实用新型提供的单晶炉炉底保温板有益效果如下：1、竖直口的内壁向外倾斜设置，从而增大了废气的流通速度；设置的通气槽便于废气快速排出，有效避免了在埚托放置槽中出现废气紊流的现象。2、设置的斜面可以与埚托相互配合，保证埚托的稳定性。3、设置于埚托放置槽顶端上的挡板保证了埚托的稳定性，避免埚托在埚托放置槽中出现径向的跳动。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，本实施例提供的一种单晶炉炉底保温板，包括底板1，其中底板1的材质为石墨硬毡，从而降低成本，使用方便, 石墨硬毡为成熟的现有材料。

在底板1的侧部设置有加热器安装槽4，加热器安装槽4的数量为两个，两个加热器安装槽4相对于底板1的中心线对称。在每个加热器安装槽4中分别设置有1个加热器安装口5，通过加热器安装口5实现加热器电极的安装，加热器安装口5贯穿加热器安装槽4设置。

在底板1上设有埚托放置槽2，埚托放置槽2的横截面呈圆形，埚托放置槽2的中心线与底板1的中心线重合，从而保证了埚托放置时的稳定性。为了实现与埚托的贴合，埚托放置槽的侧面包括竖直面11和位于竖直面11上部的斜面10，斜面10朝向蜗托放置槽2的外侧倾斜设置。因为埚托的侧面倾斜设置，设置的斜面10可以更好的与埚托配合，保证埚托的稳定性。

为了实现埚托的放置，在埚托放置槽2的中心处设置有埚杆穿孔3，埚杆穿孔3贯穿底板1设置，通过埚杆穿孔3可以将埚托下部的埚杆从底板1上部穿出。

埚托放置槽2的侧壁上设置有通风口，通风口包括相互连通的水平口6和竖直口7，竖直口7的侧面和顶部均与外部连通；其中，竖直口7的内壁向外倾斜设置，从而增大废气出来的速度，进而加大废气的流通量。

为了进一步增大废气的流通速度，避免废气在埚托放置槽中出现紊流的现象，在埚托放置槽2的内壁上设置有通气槽9，通气槽9绕埚托放置槽周向设置，同时，通气槽9与通风口连通。为了保证通气槽9的使用效果，通气槽9与埚托放置槽2的内壁通过弧形过渡面连接，弧形过渡面没有在图中显示，其中两个面之间的弧形过渡面为成熟的现有技术，其使得两个面之间的过渡更加平缓。

为了避免埚托因径向跳动而影响拉晶过程，在埚托放置槽2的端部上设有至少1个挡板8，本实施例中挡板8的数量为1个。挡板8与埚托放置槽2的顶端平齐，从而避免挡板8影响埚托的放置。为了配合挡板8的安装，在埚托放置槽2的顶端上水平设有滑槽81，挡板8滑动设置于滑槽81中。在使用的时候，当需要向埚托放置槽2中放置埚托的时候，将挡板8沿滑槽81滑动，避免挡板8影响埚托的放置；当需要使用埚托时，将挡板8从滑槽81中滑出，埚托的顶端与挡板8的底端贴合，在挡板8的作用下，埚托不能向上跳动，进而保证了埚托的稳定性。

在使用的时候，将埚托放置于埚托放置槽中，加热器电极安装于加热器安装口中；工作时，废气通过通风口从埚托放置槽中出来。

综上所述，本实用新型提供的单晶炉炉底保温板，通过设置通气槽和将竖直口的内壁向外倾斜设置，增大了埚托放置槽中废气的流动速度，避免了在埚托放置槽中出现紊流的现象，保证了废气的及时排出。