技术编号:11482591
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及光伏行业,多晶硅片制成领域、准单晶制造领域,具体为一种硅晶片热场长晶装置。背景技术硅晶片热场长晶装置是多晶硅片制成领域、准单晶制造领域常用的装置。现有的硅晶片热场长晶装置,对坩埚的冷气范围大,冷却气体不能重复利用,要求籽晶投放量大,籽晶质量很难控制,籽晶成本偏高。实用新型内容本实用新型的目的是提供一种高效硅晶片热场长晶装置,以实现对坩埚点局部强冷,实现对小块籽晶熔化、生长的有效控制,减少单埚籽晶的投放量,已达到提高硅片质量降低成本目的。为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一...
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