本实用新型涉及光伏行业,多晶硅片制成领域、准单晶制造领域,具体为一种硅晶片热场长晶装置。
背景技术:
硅晶片热场长晶装置是多晶硅片制成领域、准单晶制造领域常用的装置。现有的硅晶片热场长晶装置,对坩埚的冷气范围大,冷却气体不能重复利用,要求籽晶投放量大,籽晶质量很难控制,籽晶成本偏高。
技术实现要素:
本实用新型的目的是提供一种高效硅晶片热场长晶装置,以实现对坩埚点局部强冷,实现对小块籽晶熔化、生长的有效控制,减少单埚籽晶的投放量,已达到提高硅片质量降低成本目的。
为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:
一种高效硅晶片热场长晶装置,包括炉体,以及设置于炉体外的冷却器,炉体内设置有保温装置,保温装置内设置有坩埚,坩埚的外侧包覆有坩埚护板,坩埚护板外设置有用于对坩埚加热形成热场的加热器,所述坩埚护板底部设置有冷凝板,冷凝板连接有冷却管,冷却管与冷却器连接。
所述冷却管内设置有导流管。
所述冷却管通过接头连接有连接管,连接管与冷却器连接。
所述冷却管的端部插入冷凝板内部,与坩埚护板底部接触。
所述冷却管与坩埚护板接触位置位于坩埚护板底部的中心点处。
所述加热器包括设置于坩埚护板侧边的环形加热器,以及位于坩埚护板顶部上方的加热器。
有益效果:本实用新型通过惰性气体循环对冷却管上部冷却,从而对坩埚护板底中部、坩埚底中部、坩埚底中部的籽晶冷却,控制籽晶的熔化及长晶速度。可以用更少的籽晶来完成铸锭,从而达到降低铸锭成本。用更好的籽晶来完成铸锭,从而达到提高铸锭质量目的。解决了现有工艺籽晶用量多,质量、成本难控制的问题。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做更进一步的解释。
一种高效硅晶片热场长晶装置,包括炉体9,以及设置于炉体外的冷却器8,炉体9内设置有保温装置11,保温装置11内设置有坩埚2,坩埚2的外侧包覆有坩埚护板1,坩埚护板1外设置有用于对坩埚2加热形成热场的加热器10,所述坩埚护板1底部设置有冷凝板3,冷凝板3连接有冷却管4,冷却管4内设置有导流管5,冷却管4通过接头6连接有连接管7,连接管7与冷却器8连接。
冷却管4的端部插入冷凝板3内部,与坩埚护板1底部接触;冷却管4与坩埚护板1接触位置位于坩埚护板1底部的中心点处。
加热器10包括设置于坩埚护板1侧边的环形加热器,以及位于坩埚护板1顶部上方的加热器,分别对坩埚2的侧面以及顶部提供热场。
本实用新型通过惰性气体循环对冷却管上部冷却,从而对坩埚护板底中部、坩埚底中部、坩埚底中部的籽晶冷却,控制籽晶的熔化及长晶速度。可以用更少的籽晶来完成铸锭,从而达到降低铸锭成本。用更好的籽晶来完成铸锭,从而达到提高铸锭质量目的。解决了现有工艺籽晶用量多,质量、成本难控制的问题。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。