技术编号：11512186
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种半导体专用设备轴密封结构。背景技术传动轴是机械中最为常见的一种结构，是实现动力传递，导向支承等功能的关键部件。随着现代工业的飞速发展，对轴结构的要求也越来越高，密封性便是对轴性能提出的一大挑战。然而在对可靠性及精度要求更高的半导体领域而言，对轴密封的研究是该技术领域的焦点。在半导体专用设备领域，传动轴的工作环境比较复杂，其常处在强酸、强碱等腐蚀性气、液体恶劣工况下，这对轴密封性能的好坏直接影响轴的工作性能，这对传动轴的寿命、可靠性及精度有着至关重要的影响...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。