一种半导体专用设备轴密封结构的制作方法

本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种半导体专用设备轴密封结构。

背景技术：

传动轴是机械中最为常见的一种结构，是实现动力传递，导向支承等功能的关键部件。

随着现代工业的飞速发展，对轴结构的要求也越来越高，密封性便是对轴性能提出的一大挑战。然而在对可靠性及精度要求更高的半导体领域而言，对轴密封的研究是该技术领域的焦点。

在半导体专用设备领域，传动轴的工作环境比较复杂，其常处在强酸、强碱等腐蚀性气、液体恶劣工况下，这对轴密封性能的好坏直接影响轴的工作性能，这对传动轴的寿命、可靠性及精度有着至关重要的影响。

传统的单一的密封形式有时难以满足苛刻的工况条件，亟需设计一种轴密封结构，解决半导体设备轴密封的问题。

技术实现要素：

本发明是针对上述技术问题，提供了一种半导体专用设备轴密封结构，其采用多级圆周凹槽密封和螺旋密封组合形式密封，并且在膨胀空腔内充氮保持正压，以防止酸碱性气、液的渗入，该密封结构提高了密封的可靠度，防止了轴系内部的腐蚀，有利于提高轴系工作的寿命。

本发明的技术方案

为解决上述技术问题，本发明提供的一种半导体专用设备轴密封结构，其包括安装在传动轴上的入口盘，套装在入口盘上的套盘。

所述传动轴与入口盘及套盘的接触部分包括凹槽段和螺旋段；所述套盘的上部设置有圆周凹槽，套盘的内侧设置有异形槽；套盘上的异形槽与传动轴上的凹槽段形成膨胀空腔，膨胀空腔内充满氮气，是膨胀空腔内为正压；入口盘及套盘的内侧与螺旋段形成节流间隙，用于甩出渗漏的液体。这样，多级圆周凹槽密封和螺旋密封组合形式密封，并且在膨胀空腔内充氮保持正压，可以防止酸碱性气、液的渗入，提高该密封结构的可靠度。

进一步地，所述套盘上的圆周凹槽与套盘上的异形槽之间设置有通孔，通孔使套盘上的圆周凹槽与膨胀空腔连接，用于冲入氮气。

进一步地，所述传动轴上螺旋段的螺旋方向与传动轴的旋转方向相反，这样，当液体介质沿漏泄间隙渗漏时，借助螺旋作用而将液体甩出，以保证良好的密封性。

进一步地，所述传动轴上的凹槽段设置有圆周凹槽，其沿传动轴上的圆周方向分布，传动轴与套盘之间的间隙、传动轴凹槽段上的圆周凹槽形成膨胀空腔。

进一步地，所述圆周凹槽的数量为多个，流体经过多次节流，会产生很大的能量损耗，流体压头大为下降，使流体难于渗漏，以达到密封的效果。

进一步地，所述套盘内侧的异形槽为“＞”型槽。

本发明本发明有益效果：

本发明提供的一种半导体专用设备轴密封结构，其采用多级圆周凹槽密封和螺旋密封组合形式密封，并且在膨胀空腔内充氮保持正压，以防止酸碱性气、液的渗入，该密封结构提高了密封的可靠度，防止了轴系内部的腐蚀，有利于提高轴系工作的寿命。具体效果如下：

（1）本发明的传动轴上开有多级凹槽，使流体经过许多节流间隙与膨胀空腔组成的通道，经过多次节流而产生很大的能量损耗，流体压力大为下降，使流体难于渗漏，达到密封的效果。

（2）本发明的轴密封结构在轴上设有螺旋密封（旋向与轴转向相反），当液体介质沿漏泄间隙渗漏时，借助螺旋作用而将液体甩出，以保证密封。

（3）本发明将上述两种密封方式组合，使轴系结构密封更可靠。

（4）本发明在轴密封套盘上，开一路孔，并通有氮气保护，保证空腔内始终保证正压，防止具有酸碱性等腐蚀性的气、液浸入轴系。

附图说明

通过结合以下附图所作的详细描述，本发明本发明的优点将变得更清楚和更容易理解，这些附图只是示意性的，并不限制本发明本发明，其中：

图1是本发明实施例的示意图；

图2是图1的局部放大图；

图3是本发明之传动轴上凹槽段和螺旋段的局部放大图。

附图中，各标号所代表的部件如下：

1.传动轴；1-1.凹槽段；1-2.螺旋段；2.入口盘；3.套盘；4.上盖板；5.轴承；6.传动轴固定件；7.传动轴固定件；8.传动轴固定件；9.固定轴环；10.轴环卡环；11.传动机构固定板；12.下盖板；13.内圈固定套环；14.轴承固定座；15.通孔。

具体实施方式

下面结合具体实施例和附图对本发明的一种半导体专用设备轴密封结构进行详细说明。

在此记载的实施例为本发明的特定的具体实施方式，用于说明本发明的构思，均是解释性和示例性的，不应解释为对本发明实施方式及本发明范围的限制。除在此记载的实施例外，本领域技术人员还能够基于本申请权利要求书和说明书所公开的内容采用显而易见的其它技术方案，这些技术方案包括采用对在此记载的实施例的做出任何显而易见的替换和修改的技术方案。

本说明书的附图为示意图，辅助说明本发明的构思，示意性地表示各部分的形状及其相互关系。请注意，为了便于清楚地表现出本发明实施例的各部件的结构，相同的参考标记用于表示相同的部分。

图1至图3是本发明所述一种半导体专用设备轴密封结构的相关示意图。

其中，图1是本发明实施例的示意图，一种半导体专用设备轴密封结构，其包括安装在传动轴1上的入口盘2，套装在入口盘2上的套盘3。

所述传动轴1与入口盘2及套盘3的接触部分包括凹槽段1-1和螺旋段1-2；所述套盘3的上部设置有圆周凹槽，套盘3的内侧设置有异形槽；套盘3上的异形槽与传动轴1上的凹槽段1-1形成膨胀空腔，膨胀空腔内充满氮气，是膨胀空腔内为正压；入口盘2及套盘3的内侧与螺旋段1-2形成节流间隙，用于甩出渗漏的液体。

传动轴1上设置有固定套盘3的上盖板4、下盖板12、轴承5及轴承固定座14。轴承5设置三个，其中两个设置在传动轴1的一端，另一个设置在传动轴1的另一端，两者之间设置有内圈固定套环13，内圈固定套环13可以将轴承5定位在相应的位置；传动轴1上还设置有轴环卡环10及固定轴环9，用于轴承5的轴向固定；传动轴固定件ⅰ6、传动轴固定件ⅱ7及传动轴固定件ⅲ8固定在轴承固定座的外侧，传动机构固定板设置在传动轴固定件ⅲ8上。

传动轴1工作时，该申请所述的轴密封结构可以构成良好的密封，保证轴向的正常、平稳运行。

图2是图1的局部放大图，传动轴1与入口盘2及套盘3的接触部分包括凹槽段1-1和螺旋段1-2，其中所述传动轴1上螺旋段1-2的螺旋方向与传动轴1的旋转方向相反，所述传动轴1上的凹槽段1-1设置有圆周凹槽，其沿传动轴1上的圆周方向分布。

所述套盘3上的圆周凹槽与套盘3上的异形槽之间设置有通孔15，该通孔15为斜孔，在套盘3上的圆周凹槽中通入氮气，氮气由圆周凹槽流入异形槽中，氮气充满膨胀空腔中，使膨胀空腔中始终充满氮气，作为正压保护，故酸碱腐蚀性气、液不能浸入。

所述圆周凹槽的数量为多个，流体经过多次节流，会产生很大的能量损耗，流体压头大为下降，使流体难于渗漏，以达到密封的效果。

所述套盘3内侧的异形槽为“＞”型槽，如图3所示，异形槽也可以为其他类似的形状，只要方便设置通孔15，即可满足要求。

本发明提供的一种半导体专用设备轴密封结构，其采用多级圆周凹槽密封和螺旋密封组合形式密封，并且在膨胀空腔内充氮保持正压，以防止酸碱性气、液的渗入，该密封结构提高了密封的可靠度，防止了轴系内部的腐蚀，有利于提高轴系工作的寿命。

本发明不局限于上述实施方式，任何人在本发明的启示下都可得出其他各种形式的产品，但不论在其形状或结构上作任何变化，凡是具有与本申请相同或相近似的技术方案，均落在本发明的保护范围之内。