技术特征：
技术总结
本发明公开了一种半导体专用设备轴密封结构，其包括安装在传动轴上的入口盘，套装在入口盘上的套盘；所述传动轴与入口盘及套盘的接触部分包括凹槽段和螺旋段；所述套盘的上部设置有圆周凹槽，套盘的内侧设置有异形槽；套盘上的异形槽与传动轴上的凹槽段形成膨胀空腔，膨胀空腔内充满氮气，是膨胀空腔内为正压；入口盘及套盘的内侧与螺旋段形成节流间隙，用于甩出渗漏的液体。本发明提供的一种半导体专用设备轴密封结构，其采用多级圆周凹槽密封和螺旋密封组合形式密封，并且在膨胀空腔内充氮保持正压，以防止酸碱性气、液的渗入，该密封结构提高了密封的可靠度，防止了轴系内部的腐蚀，有利于提高轴系工作的寿命。
技术研发人员：郭春华;刘永进;侯为萍;祝福生;舒福璋
受保护的技术使用者：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
技术研发日：2017.07.20
技术公布日：2017.10.17