技术编号:11535753
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及激光直接成像技术领域,尤其是涉及一种自动清洁气动门及LDI设备。背景技术光刻技术是用于在基底表面上印刷具有特征构图的技术。这样的基底可用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等。清洁生产是印刷电路板(PrintedCircuitBoard,简称PCB)行业的重要要求,任何环境及生产件表面的污染,都将影响产品的良率,其中在曝光环节的影响尤其显著。目前,激光直接成像(LaserDirectImage,简称LDI)光...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。