自动清洁气动门及LDI设备的制作方法

本实用新型涉及激光直接成像技术领域，尤其是涉及一种自动清洁气动门及LDI设备。

背景技术：

光刻技术是用于在基底表面上印刷具有特征构图的技术。这样的基底可用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等。清洁生产是印刷电路板(Printed Circuit Board，简称PCB)行业的重要要求，任何环境及生产件表面的污染，都将影响产品的良率，其中在曝光环节的影响尤其显著。

目前，激光直接成像(Laser Direct Image，简称LDI)光刻机在对基底进行曝光显影之前，都需要对基底进行清洁，参见图1，现有技术的LDI设备结构示意图。其中，位于生产台面的基底与空气相接触，基底的洁净度直接影响了光刻机的成像质量和生产效率。因此，对基底等生产件在曝光之前的清洁工作是光刻机实际生产中的重要部分，清洁生产件表面时，通常所采用的方法是在曝光前使用粘尘滚轮对生产件表面进行清洁。

在实现本实用新型过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：在曝光前使用粘尘滚轮对生产件表面进行清洁时，需要在原有的流程上增加一道工序，耗费人力和物力，使得操作流程复杂，增加了生产所需的时间，降低了生产效率。因此，现有技术存在操作复杂、流程繁琐、生产效率低的技术问题。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种自动清洁气动门及LDI设备，以缓解了现有技术中存在的操作复杂、流程繁琐、生产效率低的技术问题。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种自动清洁气动门，包括风刀、主体和空压机；

所述风刀装配在所述主体上；

所述空压机与所述主体和所述风刀连接；

所述空压机控制所述主体的开合；

当所述主体闭合时，所述空压机控制所述风刀排风。

结合第一方面，本实用新型实施例提供了第一方面的第一种可能的实施方式，其中，还包括空压机控制器；

所述空压机控制器通过所述空压机控制所述主体。

结合第一方面，本实用新型实施例提供了第一方面的第二种可能的实施方式，其中，所述主体包括门框和门板。

结合第一方面的第二种可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第一方面的第三种可能的实施方式，其中，所述门框与所述门板之间装配有第一滑动导轨。

结合第一方面的第二种可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第一方面的第四种可能的实施方式，其中，所述风刀通过锁紧装置固定在所述门板上。

结合第一方面的第四种可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第一方面的第五种可能的实施方式，其中，所述锁紧装置包括设置在所述风刀上的螺钉和设置在门板上与所述螺钉配合的螺纹孔。

结合第一方面的第四种可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第一方面的第六种可能的实施方式，其中，所述锁紧装置为卡槽。

第二方面，本实用新型实施例还提供一种LDI设备，包括：机箱、台面、光刻装置和上述自动清洁气动门；

所述台面和所述光刻装置装配于所述机箱的内部；

所述气动门设置于所述机箱的外部。

结合第二方面，本实用新型实施例提供了第二方面的第一种可能的实施方式，其中，所述台面与所述光刻装置之间装配有第二滑动导轨。

结合第二方面的第一种可能的实施方式，本实用新型实施例提供了第二方面的第二种可能的实施方式，其中，还包括电机；

所述电机装配在所述机箱内部，控制所述台面沿所述第二滑动导轨运动。

本实用新型实施例带来了以下有益效果：

本实用新型实施例所提供的自动清洁气动门及LDI设备，包括机箱、台面、光刻装置和自动清洁气动门，台面和光刻装置装配于机箱的内部，气动门设置于机箱的外部。其中，自动清洁气动门包括风刀、主体和空压机，风刀装配在主体上，空压机与主体和风刀连接，空压机控制主体的开合，当主体闭合时，空压机控制风刀排风。该技术方案通过采用主体上装配与空压机相连接的风刀的自动清洁气动门，从而实现清洁生产件的目的，进而省去了额外增加的清洁工序，简化了生产流程，提高了生产效率，本实用新型实施例所提供的自动清洁气动门及LDI设备缓解了现有技术存在的操作复杂、流程繁琐、生产效率低的技术问题。

本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术的LDI设备结构示意图；

图2为本实用新型实施例所提供的自动清洁气动门的俯视图结构图；

图3为本实用新型实施例所提供的LDI设备的结构图；

图4为本实用新型实施例所提供的自动清洁气动门的正视结构图。

图标：

100-自动清洁气动门；110-风刀；120-主体；121-门框；122-门板；123-第一滑动导轨；200-机箱；300-台面；400-光刻装置。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

清洁生产是印刷PCB行业的重要要求，任何环境及生产件表面的污染，都将影响产品的良率，其中在曝光环节的影响尤其显著。位于生产台面的基底与空气相接触，基底的洁净度直接影响了光刻机的成像质量和生产效率。因此，对基底等生产件在曝光之前的清洁工作是光刻机实际生产中的重要部分。目前，在曝光前使用粘尘滚轮对生产件表面进行清洁时，需要在原有的流程上增加一道工序，耗费人力和物力，使得操作流程复杂，增加了生产所需的时间，降低了生产效率，基于此，本实用新型实施例提供的一种自动清洁气动门及LDI设备，可以省去额外增加的清洁工序，简化生产流程，提高生产效率。

为便于对本实施例进行理解，首先对本实用新型实施例所公开的自动清洁气动门及LDI设备进行详细介绍。

实施例一：

参见图2，本实用新型实施例所提供的自动清洁气动门的俯视图结构图。本实用新型实施例提供的自动清洁气动门，包括风刀110、主体120和空压机(图中未示出)，风刀装配在主体上，空压机与主体和风刀连接，空压机控制主体的开合，当主体闭合时，空压机控制风刀排风。

风刀是为采用空压机驱动的工业器件，使用不同的风机与风刀配合，可及时把生产件表面的尘屑及水分吹干。风刀的工作原理为压缩空气进入风刀后，以一面厚度仅为0.05毫米的气流薄片高速吹出。通过科恩达效应原理及风刀特殊的几何形状，此薄片风幕最大可达30至40倍的环境空气强度，而形成一面薄薄的高强度、大气流的冲击风幕。

空压机与主体通过连接装置相连接，气动门设置有主体操作开关，通过转换该开关，实现空压机对主体开合的控制。当主体打开时，空压机关闭风刀的排风；当主体闭合后，通过打开排风操作开关，空压机开始向风刀排风。将上述风刀装配在主体上，可以实现去除生产件表面灰尘及水汽的目的。当气动门的主体关闭时，打开排风操作开关，空压机开始工作，与此同时，风刀的排风口开始排风，形成风幕，对生产件表面进行清洁。

该技术方案通过采用主体上装配与空压机相连接的风刀的自动清洁气动门，从而实现清洁生产件的目的，进而省去了额外增加的清洁工序，简化了生产流程，提高了生产效率。

本实用新型实施例提供的自动清洁气动门还包括空压机控制器，空压机控制器通过空压机控制主体。具体的，空压机与主体通过连接装置相连接，气动门设置有主体操作开关，转换该开关至打开状态，空压机控制器向空压机发送打开指令，空压机提供气源动力，使得与空压机联动的主体产生机械运动，最终使主体呈现打开的状态，同理可得主体关闭的工作原理。该技术方案实现了空压机控制器通过空压机控制主体的目的。

本实用新型实施例提供的自动清洁气动门中的主体120包括门框121和门板122。门框为主体的框架结构，采用焊接成型，具有稳定的结构。门板为气动门的主要防尘避光的结构，与外部边框采用密封连接，进一步保证了在设备工作时能够避免灰尘等杂质的污染，为实际生产提供清洁的环境。

本实用新型实施例提供的自动清洁气动门中，门框121与门板122之间装配有第一滑动导轨123。滑动导轨减小了门板与门框之间的摩擦系数，使得空压机流畅控制门板的开合，缩短了门板对于空压机的响应时间，提高了生产效率。

本实用新型实施例提供的自动清洁气动门，风刀通过锁紧装置固定在门板上。具体的，风刀出风口的风幕平面垂直于放置生产件的台面，且风刀装配于门板的近光刻装置的一端，使得进出光刻装置的生产件在完成清洁后迅速进行曝光，减小生产件二次污染的几率。

本实施例在实施中，上述锁紧装置可以有多种选择方式，如：

方式一，上述锁紧装置采用设置在所述风刀上的螺钉和设置在门板上与螺钉配合的螺纹孔。

锁紧装置采用螺纹及螺纹孔的连接方式能够保证风刀与门板组合结构的稳定性，工艺上制作简单，锁紧效果牢固且二者之间存在的缝隙小。

方式二，上述锁紧装置为卡槽。

锁紧装置采用卡槽的连接方式，门板上装配有与风刀配套的凹槽。风刀拆卸简单，后期维护修理方便。

实施例二：

参见图3，本实用新型实施例所提供的LDI设备的结构图。本实用新型实施例还提供一种LDI设备，包括：机箱200、台面300、光刻装置400和上述自动清洁气动门100，台面和光刻装置装配于机箱的内部，自动清洁气动门设置于机箱的外部。

机箱采用焊接成型的结构，机箱的前部装配有上述自动清洁气动门和台面，机箱的后部装配有光刻装置及相关配套装置。机箱整体满足生产所需的防尘要求。

参见图4，本实用新型实施例所提供的自动清洁气动门的正视结构图。

本实用新型实施例提供的LDI设备中，台面与光刻装置之间装配有第二滑动导轨。

启动LDI设备后，开启自动清洁气动门，将生产件放置于台面上，关闭上述气动门，开启操作开关，空压机开始工作，载有生产件的台面沿第二滑动导轨向光刻装置滑动，滑动过程中，风刀的风幕垂直扫过生产件的表面，将生产件表面的灰尘去除，达到了清洁的目的。

本实用新型实施例提供的LDI设备还包括电机，电机为设备整体提供电力能源，电机装配在机箱内部，控制台面沿第二滑动导轨运动。

本实用新型实施例提供的自动清洁气动门，与上述实施例提供的自动清洁气动门具有相同的技术特征，所以也能解决相同的技术问题，达到相同的技术效果。

本实用新型实施例所提供的自动清洁气动门及LDI设备，包括机箱、台面、光刻装置和自动清洁气动门，台面和光刻装置装配于机箱的内部，气动门设置于机箱的外部。其中，自动清洁气动门包括风刀、主体和空压机，风刀装配在主体上，空压机与主体和风刀连接，空压机控制主体的开合，当主体闭合时，空压机控制风刀排风。该技术方案通过采用主体上装配与空压机相连接的风刀的自动清洁气动门，从而实现清洁生产件的目的，进而省去了额外增加的清洁工序，简化了生产流程，提高了生产效率，本实用新型实施例所提供的自动清洁气动门及LDI设备缓解了现有技术存在的操作复杂、流程繁琐、生产效率低的技术问题。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露系统和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的系统实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。

所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

另外，在本实用新型各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。

所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的系统和装置的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。

另外，在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

最后应说明的是：以上所述实施例，仅为本实用新型的具体实施方式，用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制，本实用新型的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。