1.一种自动清洁气动门，其特征在于，包括风刀、主体和空压机；
所述风刀装配在所述主体上；
所述空压机与所述主体和所述风刀连接；
所述空压机控制所述主体的开合；
当所述主体闭合时，所述空压机控制所述风刀排风。
2.根据权利要求1所述的自动清洁气动门，其特征在于，还包括空压机控制器；
所述空压机控制器通过所述空压机控制所述主体。
3.根据权利要求1所述的自动清洁气动门，其特征在于，所述主体包括门框和门板。
4.根据权利要求3所述的自动清洁气动门，其特征在于，所述门框与所述门板之间装配有第一滑动导轨。
5.根据权利要求3所述的自动清洁气动门，其特征在于，所述风刀通过锁紧装置固定在所述门板上。
6.根据权利要求5所述的自动清洁气动门，其特征在于，所述锁紧装置包括设置在所述风刀上的螺钉和设置在门板上与所述螺钉配合的螺纹孔。
7.根据权利要求5所述的自动清洁气动门，其特征在于，所述锁紧装置为卡槽。
8.一种LDI设备，其特征在于，包括机箱、台面、光刻装置和如权利要求1至7任一项所述的自动清洁气动门；
所述台面和所述光刻装置装配于所述机箱的内部；
所述气动门设置于所述机箱的外部。
9.根据权利要求8所述的LDI设备，其特征在于，所述台面与所述光刻装置之间装配有第二滑动导轨。
10.根据权利要求9所述的LDI设备，其特征在于，还包括电机；
所述电机装配在所述机箱内部，控制所述台面沿所述第二滑动导轨运动。