技术编号:11587152
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光伏材料技术领域,尤其是一种RIE黑硅的制作方法。背景技术如今光伏行业提效趋势日渐明显,常规多晶在现有工艺基础上很难进行有效的效率提升,因此研发出新工艺用以提升效率迫在眉睫。发明内容为了克服现有的常规多晶无法有效提高效率的不足,本发明提供了一种RIE黑硅的制作方法。本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种RIE黑硅的制作方法,使用如下配方对硅片进行处理,所有配比均为体积比:BOE:H2O2:H2O=1:2:5,与硅片反应的温度为40℃,与硅片反应的时间为200秒,H2O,与硅片反应...
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