技术编号：11590837
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及玻璃基板的微观检测领域，具体地，涉及一种玻璃基板微观检测机。背景技术当前，随着技术的发展与市场的需求，对平板显示玻璃基板像素及开口率的要求愈来愈高，因此平板显示玻璃基板布线向微细化方向发展，平板显示玻璃基板阵列细胞化方向发展，导致检查平板显示玻璃基板缺陷更加困难。目前市场上的微观检查机使用光学显微镜进行微观检测，但是由于只能从光学显微镜这一侧向玻璃基板照明，导致成像比较模糊，在分析缺陷成因时，存在技术障碍，无法根据成像照片准确判断前端工艺存在的问题。实用新型内容本公开的目的是提供一种玻...
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