本公开涉及玻璃基板的微观检测领域，具体地，涉及一种玻璃基板微观检测机。
背景技术：
当前，随着技术的发展与市场的需求，对平板显示玻璃基板像素及开口率的要求愈来愈高，因此平板显示玻璃基板布线向微细化方向发展，平板显示玻璃基板阵列细胞化方向发展，导致检查平板显示玻璃基板缺陷更加困难。
目前市场上的微观检查机使用光学显微镜进行微观检测，但是由于只能从光学显微镜这一侧向玻璃基板照明，导致成像比较模糊，在分析缺陷成因时，存在技术障碍，无法根据成像照片准确判断前端工艺存在的问题。
技术实现要素：
本公开的目的是提供一种玻璃基板微观检查机，该玻璃基板微观检查机在微观检查玻璃基板时，能提升光学显微镜成像照片清晰度以便于分析缺陷的种类。
为了实现上述目的，本公开提供一种玻璃基板微观检查机，包括光学显微镜和驱动该光学显微镜沿垂直于玻璃基板传送方向的宽度方向移动的第一驱动装置，所述玻璃基板微观检测机还包括照明装置以及驱动所述照明装置随所述光学显微镜同步运动的第二驱动装置，其中所述光学显微镜与所述照明装置分别位于所述玻璃基板的上下两侧，并且使得所述光学显微镜的镜头与所述照明装置在所述玻璃基板上的投光点沿竖直方向对齐设置。
可选地，所述照明装置沿竖直方向投光，所述照明装置沿竖直方向位于所述镜头的正下方。
可选地，所述第二驱动装置包括伺服电机和由该伺服电机驱动的同步带电缸，所述照明装置安装在沿所述宽度方向延伸的该同步带电缸上。
可选地，所述第一驱动装置包括伺服直线电机，所述光学显微镜可滑动地安装在沿所述宽度方向延伸的第一横梁上，并通过所述伺服直线电机驱动。
可选地，所述玻璃基板微观检查机还包括控制所述伺服直线电机和所述伺服电机同步工作的控制系统。
可选地，所述同步带电缸通过沿所述宽度方向间隔布置的多个支腿支撑。
可选地，所述玻璃基板由气浮平台传送，所述光学显微镜沿所述宽度方向在所述气浮平台的上方运动，所述照明装置沿所述宽度方向在所述气浮平台的下方运动，所述气浮平台上设置有沿所述宽度方向延伸的狭缝，该狭缝位于所述投光点的正下方。
可选地，所述照明装置包括安装座、灯箱和透镜，所述安装座与所述第二驱动装置相连，所述灯箱安装在所述安装座上方，所述透镜安装在所述灯箱的上方。
可选地，所述灯箱和所述透镜之间安装有焦距调节机构。
可选地，所述焦距调节机构包括调节电机、主动轮和焦距调节旋钮，所述调节电机安装在所述灯箱的侧壁并且输出轴沿竖直方向向上延伸，所述主动轮安装在所述输出轴上并通过皮带与所述焦距调节旋钮传动相连，以通过该所述焦距调节旋钮的转动调节所述透镜和所述灯箱之间的距离。
通过上述技术方案，由于配置了位于玻璃基板下方的照明装置，并且使投光点和镜头竖直对齐，能够大幅提升光学显微镜成像照片的清晰度，便于分析缺陷的种类。
本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：
图1是本公开示例性实施方式提供的玻璃基板检查机安装状态下的立体结构示意图；
图2是图1中A部的放大结构示意图；
图3是光学显微镜和照明系统工作状态下的侧视结构视图；
图4是本公开示例性实施方式提供的照明装置和第二驱动装置在安装状态下的立体结构示意图；
图5是图4装置的侧视结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。
在本公开中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、竖直方向”是以本公开提供的检查机正常工作的状态下定义的，“内、外”则是是指相应部件轮廓的内和外。
如图1至图5所示，本公开在示例性实施方式中提供一种玻璃基板微观检查机，包括光学显微镜1和驱动该光学显微镜1沿垂直于玻璃基板7传送方向的宽度方向移动的第一驱动装置2，即，光学显微镜1的移动方向可以定义为“宽度方向”。其中玻璃基板7可以在气浮平台5上进行传送，此时光学显微镜1的移动方向垂直于气浮平台5的延伸方向。其中气浮平台5是玻璃基板运输领域的常用部件，其通过开有气孔的气浮板均应地喷出气体，从而使得放在气浮板上的玻璃基板在极小磨损的情况下进行输送。为了实现玻璃基板的移动，气浮平台5的两侧可以安装直线电机等驱动装置来驱动夹持玻璃基板的移动夹等玻璃基板固定装置，其中气浮平台5的两侧可以设置大理石横梁，大理石横梁平面度好并且尺寸受环境温度影响小，因此能够使得玻璃基板固定装置可以沿大理石横梁在气浮平台5上稳定输送玻璃基板。
其中，为了实现光学显微镜1的运动，在本实施方式中，第一驱动装置2可以包括伺服直线电机21，而光学显微镜1可滑动地安装在沿宽度方向延伸的第一横梁12上，并通过伺服直线电机21驱动，从而实现沿宽度方向的直线运动，由于玻璃基板7可以沿气浮平台5传送，因此光学显微镜1的检查区域可以覆盖玻璃基板7的任意位置。其中第一横梁12也可以为大理石横梁。在其他实施方式中，还可以通过伺服电机带动丝杠螺母机构实现光学显微镜的直线移动。
在本实施方式中，如图2和图4所示，玻璃基板微观检测机还包括照明装置3以及驱动照明装置3随光学显微镜1同步运动的第二驱动装置4，其中光学显微镜与照明装置3分别位于玻璃基板7的上下两侧，并且使得光学显微镜1的镜头11与照明装置在玻璃基板7上的投光点沿竖直方向对齐设置。
因此，由于配置了位于玻璃基板7下方的照明装置3，并且使投光点和镜头11竖直对齐，即，照明装置3能够从玻璃基板1的下方向玻璃基板投射光线，从而大幅提升位于玻璃基板7上方的光学显微镜成像照片的清晰度，便于分析缺陷的种类。
其中，具体地，如图3所示，照明装置3沿竖直方向投光，照明装置3沿竖直方向位于镜头11的正下方。在其他实施方式中，照明装置3也可以倾斜投光，只要保证投光点位于镜头11的下方即可。
在本实施方式中，如图4所示，第二驱动装置4包括伺服电机41和由该伺服电机驱动的同步带电缸42，照明装置安装在沿宽度方向延伸的该同步带电缸42上，从而实现照明装置3与光学显微镜1同步运动。具体地，玻璃基板微观检查机可以还包括控制伺服直线电机21和伺服电机41同步工作的控制系统，即通过控制系统的程序设定实现伺服电机41和伺服直线电机21的同步控制，精度高。其中如何通过程序控制伺服电机运动是本领域技术人员公知的技术，在此不做过多赘述。另外，伺服电机和同步带电缸均为本领域公知的部件，具有运行精度高和平稳的优点，例如可采用东莞市炯一机电设备有限公司销售的鼎格/标准型同步带电缸。在其他实施方式中，照明装置3和第二驱动装置4还可以其他各种直线移动方式，例如伺服电机配合滚珠丝杆机构等等。
为了使得结构稳定，如图4所示，同步带电缸42通过沿宽度方向间隔布置的多个支腿43支撑。
另外，为了配合光学显微镜1在上，照明装置3在下的布局方式，设计光学显微镜沿宽度方向在气浮平台5的上方运动，照明装置3沿宽度方向在气浮平台5的下方运动，并且如图2和图3所示，气浮平台上设置有沿宽度方向延伸的狭缝51，例如设置两块相邻的气浮板之间具有间隙即可，该狭缝51位于投光点的正下方，即，照明装置透视的光线能够通过狭缝51穿过气浮平台5的气浮板从而实现本公开的目的。其中狭缝51的宽度满足光线通过即可，因此不影响气浮平台5的正常工作。
在本实施方式中，如图5所示，照明装置3包括安装座31、灯箱32和透镜33，安装座31与第二驱动装置4相连，灯箱安装在安装座31上方，透镜33安装在灯箱32的上方。其中透镜33可以选用菲尼尔透镜，通过透镜33可以使得灯箱32发出的光线聚焦在玻璃基板5上，从而形成与光学显微镜1的镜头11对齐的投光点。
进一步地，灯箱32和透镜之间安装有焦距调节机构6，从而实现光学显微镜图像清晰度的调节功能。具体地，如图5所示，在本实施方式中，焦距调节机构6可以包括调节电机61、主动轮62和焦距调节旋钮63，其中，调节电机61安装在灯箱32的侧壁并且输出轴沿竖直方向向上延伸，主动轮62安装在输出轴上并通过皮带64与焦距调节旋钮63传动相连，以通过该焦距调节旋钮63的转动调节透镜33和灯箱32之间的距离从而实现焦距的调节。其中作为一种实施方式中，焦距调节旋钮63可转动地套设在灯箱32上，而透镜33可以通过螺纹方式与焦距调节旋钮63配合，从而在调节电机61接收到控制信号后，通过皮带64转动焦距调节旋钮63，继而实现焦距的调节。
以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式，但是，本公开并不限于上述实施方式中的具体细节，在本公开的技术构思范围内，可以对本公开的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本公开的保护范围。
另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。
此外，本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本公开的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。