玻璃基板微观检查机的制作方法

文档序号:11590837阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种玻璃基板微观检查机,包括光学显微镜(1)和驱动该光学显微镜沿垂直于玻璃基板(7)传送方向的宽度方向移动的第一驱动装置(2),其特征在于,所述玻璃基板微观检测机还包括照明装置(3)以及驱动所述照明装置(3)随所述光学显微镜(1)同步运动的第二驱动装置(4),其中所述光学显微镜与所述照明装置(3)分别位于所述玻璃基板(7)的上下两侧,并且使得所述光学显微镜(1)的镜头(11)与所述照明装置在所述玻璃基板(7)上的投光点沿竖直方向对齐设置。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板微观检查机,其特征在于,所述照明装置(3)沿竖直方向投光,所述照明装置(3)沿竖直方向位于所述镜头(11)的正下方。

3.根据权利要求1所述的玻璃基板微观检查机,其特征在于,所述第二驱动装置(4)包括伺服电机(41)和由该伺服电机驱动的同步带电缸(42),所述照明装置安装在沿所述宽度方向延伸的该同步带电缸(42)上。

4.根据权利要求3所述的玻璃基板微观检查机,其特征在于,所述第一驱动装置(2)包括伺服直线电机(21),所述光学显微镜(1)可滑动地安装在沿所述宽度方向延伸的第一横梁(12)上,并通过所述伺服直线电机(21)驱动。

5.根据权利要求4所述的玻璃基板微观检查机,其特征在于,所述玻璃基板微观检查机还包括控制所述伺服直线电机(21)和所述伺服电机(41)同步工作的控制系统。

6.根据权利要求3所述的玻璃基板微观检查机,其特征在于,所述同步带电缸(42)通过沿所述宽度方向间隔布置的多个支腿(43)支撑。

7.根据权利要求1-6中任意一项所述的玻璃基板微观检查机,其特征在于,所述玻璃基板由气浮平台(5)传送,所述光学显微镜沿所述宽度方向在所述气浮平台的上方运动,所述照明装置(3)沿所述宽度方向在所述气浮平台的下方运动,所述气浮平台上设置有沿所述宽度方向延伸的狭缝(51),该狭缝(51)位于所述投光点的正下方。

8.根据权利要求1所述的玻璃基板微观检查机,其特征在于,所述照明装置(3)包括安装座(31)、灯箱(32)和透镜(33),所述安装座(31)与所述第二驱动装置(4)相连,所述灯箱安装在所述安装座(31)上方,所述透镜(33)安装在所述灯箱(32)的上方。

9.根据权利要求8所述的玻璃基板微观检查机,其特征在于,所述灯箱(32)和所述透镜之间安装有焦距调节机构(6)。

10.根据权利要求9所述的玻璃基板微观检查机,其特征在于,所述焦距调节机构包括调节电机(61)、主动轮(62)和焦距调节旋钮(63),所述调节电机安装在所述灯箱的侧壁并且输出轴沿竖直方向向上延伸,所述主动轮安装在所述输出轴上并通过皮带(64)与所述焦距调节旋钮传动相连,以通过该所述焦距调节旋钮(63)的转动调节所述透镜(33)和所述灯箱(32)之间的距离。

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