技术总结
本公开涉及一种玻璃基板微观检查机，包括光学显微镜(1)和驱动该光学显微镜沿垂直于玻璃基板(7)传送方向的宽度方向移动的第一驱动装置(2)，所述玻璃基板微观检测机还包括照明装置(3)以及驱动所述照明装置(3)随所述光学显微镜(1)同步运动的第二驱动装置(4)，其中所述光学显微镜与所述照明装置(3)分别位于所述玻璃基板(7)的上下两侧，并且使得所述光学显微镜(1)的镜头(11)与所述照明装置在所述玻璃基板(7)上的投光点沿竖直方向对齐设置。由于配置了位于玻璃基板下方的与光学显微镜同步运动的照明装置，并且使投光点和镜头竖直对齐，能够大幅提升光学显微镜成像照片的清晰度，便于分析缺陷的种类。
技术研发人员：邓永松;丁力;刘磊;蔡杰;权永春
受保护的技术使用者：江苏东旭亿泰智能装备有限公司;东旭光电科技股份有限公司
文档号码：201720103400
技术研发日：2017.01.23
技术公布日：2017.08.08