技术编号：11592910
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例涉及半导体器件、鳍式场效晶体管器件及其形成方法。背景技术半导体集成电路(IC)产业经历了指数增长。IC材料和设计的技术进展已生产数代IC，其中每一代具有比前一代更小且更复杂的电路。在IC演进过程中，一般来说，增加功能密度(即，每芯片面积的互连器件的数目)，同时减小几何大小(即，可使用制造过程产生的最小组件或线路)。这样的按比例缩小工艺通常通过提高生产效率和降低相关联成本来提供益处。这种按比例缩小亦提高了加工及制造IC的复杂度，且对于这些待实现的进展，需要IC加工及制造的类似发展。举例...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。