技术编号:11603700
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及多晶硅定向凝固设备技术领域,具体涉及一种铸锭籽晶融化厚度测量装置。背景技术多晶硅铸锭过程中需要对籽晶的融化程度进行检测,即对籽晶的融化厚度进行测量,目前通用的测量方法是人工手持测量棒,穿过炉体接触硅液,来测量硅液底部高度,通过物理尺寸来判断籽晶融化厚度;这种方法存在很多问题,测量过程需要在人工手持的状态下进行,不够自动化,测量运行时间和过程不易控制、测量结果不一致、测量棒使用寿命较短等问题,并且易导致测量数据出现误差及使用不方便的情况。实用新型内容针对现有技术中的缺陷,本实用新型提...
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