一种铸锭籽晶融化厚度测量装置的制作方法

文档序号:11603700阅读:139来源:国知局

本实用新型涉及多晶硅定向凝固设备技术领域,具体涉及一种铸锭籽晶融化厚度测量装置。



背景技术:

多晶硅铸锭过程中需要对籽晶的融化程度进行检测,即对籽晶的融化厚度进行测量,目前通用的测量方法是人工手持测量棒,穿过炉体接触硅液,来测量硅液底部高度,通过物理尺寸来判断籽晶融化厚度;这种方法存在很多问题,测量过程需要在人工手持的状态下进行,不够自动化,测量运行时间和过程不易控制、测量结果不一致、测量棒使用寿命较短等问题,并且易导致测量数据出现误差及使用不方便的情况。



技术实现要素:

针对现有技术中的缺陷,本实用新型提供一种铸锭籽晶融化厚度测量装置,以提高测量过程的自动化,提高测量的准确性。

为达到上述目的,本实用新型采用如下的技术方案:

一种铸锭籽晶融化厚度测量装置,包括箱体、支撑杆、电机、编码器、连接丝以及测量棒;

所述箱体通过所述支撑杆连接于铸锭炉壳体的顶端,所述电机及所述编码器设置于所述箱体内,所述测量棒设置于所述铸锭炉内坩埚装置的上方,所述连接丝的一端连接于所述电机的输出端,另一端依次连接所述编码器的输入部及所述测量棒的上端,所述箱体及所述铸锭炉壳体上分别对应设置有可供所述连接丝通过的第一通孔及第二通孔,所述编码器的输出部连接有外部接收器。

作为一种优选的技术方案,所述箱体、所述支撑杆及所述连接丝均为金属构件。

作为一种优选的技术方案,所述支撑杆与所述箱体之间、所述支撑杆与所述铸锭炉壳体之间的连接方式为螺纹连接。

作为一种优选的技术方案,所述测量棒为石英构件的测量棒。

作为一种优选的技术方案,所述第一通孔内设有用以固定所述连接丝的固定件。

作为一种优选的技术方案,所述第二通孔内设有用以密封铸锭炉内部空间的密封件。

由于采用以上技术方案,本实用新型具有以下有益效果:

一种铸锭籽晶融化厚度测量装置,包括箱体、支撑杆、电机、编码器、连接丝以及测量棒;箱体通过支撑杆连接于铸锭炉壳体的顶端,电机及编码器设置于箱体内,测量棒设置于铸锭炉内坩埚装置的上方,连接丝的一端连接于电机的输出端,另一端依次连接编码器的输入部及测量棒的上端,箱体及铸锭炉壳体上分别对应设置有可供连接丝通过的第一通孔及第二通孔,编码器的输出部连接有外部接收器;基于以上结构,本实用新型在使用时,利用支撑杆作为箱体及铸锭炉壳体之间的连接件,利用箱体起到支承的作用,为测量过程提供了场所,利用电机可以通过对连接丝进行卷绕从而对测量棒进行提升作用,利用编码器可以对连接丝的运动位移及运动速率进行检测及传输,利用对应设置的箱体上的第一通孔及铸锭炉壳体上的第二通孔可以使连接丝便于通过及运动,利用外部接收器可以将编码器测量到的数据结果进行接收并存储或显示。

本实用新型中,箱体、支撑杆及连接丝均为金属构件;基于以上结构,本实用新型在使用时,利用金属构件的箱体、支撑杆及连接丝,提高了整体装置的强度、刚度及耐磨性,增加了整体装置的使用寿命。

本实用新型中,支撑杆与箱体之间、支撑杆与铸锭炉壳体之间的连接方式为螺纹连接;基于以上结构,本实用新型在使用时,利用支撑杆与箱体之间的螺纹连接,支撑杆与铸锭炉壳体之间的螺纹连接,便于安装、拆卸及维修,提高了整体装置结构的稳定性及便利性。

本实用新型中,测量棒为石英构件的测量棒;基于以上结构,本实用新型在使用时,石英构件的测量棒为市场上通用的构件,便于替换。

本实用新型中,第一通孔内设有用以固定连接丝的固定件;基于以上结构,本实用新型在使用时,利用设置于第一通孔内用以固定连接丝的固定件,减小了因连接丝在工作过程中的晃动而对测量结果产生的影响,增加了整体装置工作的稳定性及测量结果的准确性。

本实用新型中,第二通孔内设有用以密封铸锭炉内部空间的密封件;基于以上结构,本实用新型在使用时,利用设置于第二通孔内的用以密封铸锭炉内部空间的密封件,保证了铸锭炉内部空间的密封性,减小了连接丝对于铸锭炉工作过程的影响。

综上所述,本实用新型提高了测量过程的自动化,提高了测量的准确性,测量数据便于分析、存储及后续处理,结构简单,便于操作。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中,类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中,各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。

图1为本实用新型的结构示意图;

附图中,1、箱体,11、第一通孔,2、支撑杆,3、电机,4、编码器,5、连接丝,6、测量棒,7、第二通孔,8、铸锭炉壳体,9、坩埚装置。

具体实施方式

下面将结合实施例对本实用新型的技术方案进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案,因此只作为示例,而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

如图1所示的实施例中的一种铸锭籽晶融化厚度测量装置,包括箱体1、支撑杆2、电机3、编码器4、连接丝5以及测量棒6;箱体1通过支撑杆2连接于铸锭炉壳体8的顶端,利用支撑杆2作为箱体1及铸锭炉壳体8之间的连接件,支撑杆2与箱体1之间、支撑杆2与铸锭炉壳体8之间的连接方式为螺纹连接,利用支撑杆2与箱体1之间的螺纹连接,支撑杆2与铸锭炉壳体8之间的螺纹连接,便于安装、拆卸及维修,提高了整体装置结构的稳定性及便利性;电机3及编码器4设置于箱体1内,利用箱体1起到支承的作用,为测量过程提供了场所,测量棒6设置于铸锭炉内坩埚装置9的上方,测量棒6为石英构件的测量棒6,石英构件的测量棒6为市场上通用的构件,成本较低,使用购买及替换较为方便,连接丝5的一端连接于电机3的输出端,利用电机3可以通过对连接丝5进行卷绕从而对测量棒6进行提升操作,另一端依次连接编码器4的输入部及测量棒6的上端,利用编码器4可以对连接丝5的运动位移及运动速率进行检测及传输,本实施例中使用的编码器4为旋转编码器,箱体1及铸锭炉壳体8上分别对应设置有可供连接丝5通过的第一通孔11及第二通孔7,利用对应设置的箱体1上的第一通孔11及铸锭炉壳体8上的第二通孔7可以使连接丝5便于通过及运动,编码器4的输出部连接有外部接收器(图中未示出),利用外部接收器可以将编码器4测量到的数据结果进行接收并分析存储或显示,编码器及外部接收器均为现有技术,在此不做赘述。

本实施例中的箱体1、支撑杆2及连接丝5均为金属构件,利用金属构件的箱体1、支撑杆2及连接丝5,提高了整体装置的强度、刚度及耐磨性,增加了整体装置的使用寿命。

本实施例中第一通孔11内设有用以固定连接丝5的固定件,利用设置于第一通孔11内用以固定连接丝5的固定件,减小了因连接丝5在工作过程中的晃动而对测量结果产生的影响,增加了整体装置工作的稳定性及测量结果的准确性;第二通孔7内设有用以密封铸锭炉内部空间的密封件,利用设置于第二通孔7内的用以密封铸锭炉内部空间的密封件,保证了铸锭炉内部空间的密封性,减小了连接丝5对于铸锭炉工作过程的影响。

本实用新型在使用时,测量棒在自身重力的作用下向下运动,当运动到硅液底部后停止运动,编码器同时进行工作记录连接丝的位移及速度并将数据传输到编码器所连接的外部接收器中进行分析显示或存储,从而得到铸锭炉内籽晶的融化深度,测量完成后利用电机对连接丝及测量棒进行提升。

最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围,其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。

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