一种改善热场性能的多晶铸锭炉的制作方法

文档序号:12179858阅读:371来源:国知局
一种改善热场性能的多晶铸锭炉的制作方法与工艺

本实用新型涉及一种改善热场性能的多晶铸锭炉。



背景技术:

多晶铸锭炉使用中,在高温加热熔化硅料的同时,通入氩气增加硅液排杂性能。多晶硅料在铸锭过程中,产生的含杂的硅蒸汽通过石墨护板上沿缺口排出,直接沉积于原有热场保温板上面,一方面保温板上氧化物杂质较多,对硅锭质量影响较大;另一方面高温硅蒸汽对热场内固化碳毡保温板腐蚀非常严重,一般的热场使用寿命只能保证一年左右,使用寿命较短,保温板需定期更换,更换热场材料将大大增加企业制造成本。



技术实现要素:

本实用新型其目的就在于提供一种改善热场性能的多晶铸锭炉,解决了现有铸锭炉隔热笼保温板氧化,运行过程中氧化物脱落,造成硅锭质量下降,使用寿命较短,保温板需定期更换,增加了企业制造成本,导致收益率降低的问题,本实用新型减少了氧化物等杂质在热场内的沉积,使多晶铸锭过程中气流更加顺畅,从而减少硅锭杂质的产生,在实际运用中能起到提高硅锭品质的作用,能够提高硅锭收益率达1-2%,且本装置将热场配件使用年限由一年延长至三年,从而降低设备配件成本。

实现上述目的而采取的技术方案,包括铸锭炉炉壁,所述铸锭炉炉壁内设有两组相互平行的隔热笼保温板,所述隔热笼保温板上设有水平凹槽,隔热笼保温板上端设有保温顶板,每块隔热笼保温板内侧均设有四块大小不同的石墨保温板,所述石墨保温板经石墨螺杆固定在隔热笼保温板上。

有益效果

与现有技术相比本实用新型具有以下优点。

1.通过热场装置改造,改变了原保温板的结构和材质,新装置具有精细致密的结构特征,热膨胀系数较低和优异的抗热震性能;

2.能够降低生产过程中硅蒸汽和排出的气体杂质对内保温板的氧化腐蚀,延长固化碳毡保温板的使用寿命;

3.光滑的材质表面可以降低对杂质的吸附,减小摩擦,有效减少硅锭内杂质含量从而提高品质;

4.节约能耗,石墨材料相对于碳毡材料,更近似黑体材料,能大量吸收外部的辐射能量,同时能大量辐射出自身能量;

5.装置结构简单可靠,使用寿命长,不影响多晶铸锭炉正常工作,可操作性强,适合大批量推广使用。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步详述。

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为本实用新型中石墨保温板结构示意图。

具体实施方式

本装置包括铸锭炉炉壁1,如图1、图2所示,所述铸锭炉炉壁1内设有两组相互平行的隔热笼保温板3,所述隔热笼保温板3上设有水平凹槽6,隔热笼保温板3上端设有保温顶板2,每块隔热笼保温板3内侧均设有四块大小不同的石墨保温板4,所述石墨保温板4经石墨螺杆5固定在隔热笼保温板3上。

所述石墨保温板4为高纯度静压石墨材质。

本实用新型在铸锭炉热场内的碳毡隔热笼保温板3上开凿5mm的凹槽,再采用大小不同的四块厚度为5mm高纯度静压石墨保温板4安装于隔热笼内部四个面中的一个面上,其中取①为656*120mm的石墨保温板4用于安装左上部,取②为470*120mm的石墨保温板4用于安装右上部,取③为656*380mm的石墨保温板4用于安装左下部,取④为470*380mm的石墨保温板4用于安装右下部,且隔热笼内部其他三个面均如此安装,各石墨保温板4上均设置开孔位置并做攻丝处理,用M8石墨螺杆5安装于隔热笼内部的隔热笼保温板2上。

本实用新型由于改变了原保温板的结构和材质,与普通固化碳毡相比,改造后的内保温板结构精细致密,均匀性好,热膨胀系数较低,具有优异的抗热震性能和耐腐蚀性,能够减少氧化物杂质对固化碳毡板的腐蚀,在实际运用中能使普通热场配件寿命增加3倍以上,达到降低热场配件更换成本的目的。另外,本装置减少了氧化物等杂质在热场内的沉积,使多晶铸锭过程中气流更加顺畅,从而减少硅锭杂质的产生,在实际运用中能起到提高硅锭品质的作用,能够提高硅锭收益率达1-2%。

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