一种大容量多晶硅铸锭炉的热场结构的制作方法

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一种大容量多晶硅铸锭炉的热场结构的制造方法与工艺

本实用新型涉及一种铸锭炉,特别涉及一种大容量多晶硅铸锭炉的热场结构。



背景技术:

目前,多晶硅铸锭炉主要用于太阳能级多晶硅锭的大生产,它采用先进的多晶硅定向凝固技术,将硅料高温熔融后通过特殊工艺定向冷凝结晶,但是传统的铸锭炉的热场结构不够完善,会导致晶体生长温度梯度的不稳定。为此,我们提出一种大容量多晶硅铸锭炉的热场结构。



技术实现要素:

本实用新型的主要目的在于提供一种大容量多晶硅铸锭炉的热场结构,通过在坩埚周围增设隔热笼和加热器,可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:

一种大容量多晶硅铸锭炉的热场结构,包括保温腔体、支撑柱、下加热器、侧隔热笼、上加热器、升降丝杠、坩埚和支撑板,所述保温腔体下端设置有支撑柱,所述支撑柱顶端连接有支撑板以及设置在支撑板上侧的下隔热笼,所述下隔热笼上侧设置有下加热器,所述下加热器底端与下加热棒连接,所述支撑板两端上侧设置有侧隔热笼,所述侧隔热笼一侧设置有侧加热器,所述所述下加热器上侧设置有坩埚,所述坩埚上侧设置有上加热器,所述上加热器上侧设置有上隔热笼,所述上加热器两侧顶端连接有上加热棒,所述加热器顶端设置有观察管,所述上隔热笼两侧顶端连接有升降丝杠。

进一步地,所述观察管顶端设置有观察孔。

进一步地,所述保温腔体顶端设置有顶盖。

进一步地,所述侧加热器和侧隔热笼通过固定螺丝与支撑板连接。

与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:通过在坩埚周围设设置的上隔热笼、下隔热笼和侧隔热笼能够保持温度,避免温度向外界传递,通过设置的上加热器、下加热器和侧加热器使得晶体生长温度梯度更加稳定,实现稳定定向凝固,生产的多晶硅硅锭质量高,规格大,通过设置的升降丝杠可以控制上隔热笼的向上开启,以便于调节温度,通过设置的观察孔便于工作人员从外部观察多晶硅的生长状态,通过设置的固定螺丝能够使固定方式更加简易牢固。

【附图说明】

图1为本实用新型大容量多晶硅铸锭炉的热场结构的整体结构示意图。

图2为本实用新型大容量多晶硅铸锭炉的热场结构的俯视图。

图中:1、保温腔体;2、支撑柱;3、下加热棒;4、下隔热笼;5、下加热器;6、固定螺丝;7、侧隔热笼;8、上加热器;9、上隔热笼;10、观察管;11、顶盖;12、观察孔;13、上加热棒;14、升降丝杠;15、侧加热器;16、坩埚;17、支撑板。

【具体实施方式】

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。

如图1-2所示,一种大容量多晶硅铸锭炉的热场结构,包括保温腔体1、支撑柱2、下加热器5、侧隔热笼7、上加热器8、升降丝杠14、坩埚16和支撑板17,所述保温腔体1下端设置有支撑柱2,所述支撑柱2顶端连接有支撑板17以及设置在支撑板17上侧的下隔热笼4,所述下隔热笼4上侧设置有下加热器5,所述下加热器5底端与下加热棒3连接,所述支撑板17两端上侧设置有侧隔热笼7,所述侧隔热笼7一侧设置有侧加热器15,所述所述下加热器5上侧设置有坩埚16,所述坩埚16上侧设置有上加热器8,所述上加热器8上侧设置有上隔热笼9,所述上加热器8两侧顶端连接有上加热棒13,所述加热器8顶端设置有观察管10,所述上隔热笼9两侧顶端连接有升降丝杠14。

本实用新型大容量多晶硅铸锭炉的热场结构,通过在坩埚16周围设设置的上隔热笼9、下隔热笼4和侧隔热笼7能够保持温度,避免温度向外界传递,通过设置的上加热器8、下加热器5和侧加热器15使得晶体生长温度梯度更加稳定,实现稳定定向凝固,生产的多晶硅硅锭质量高,规格大,通过设置的升降丝杠14可以控制上隔热笼9的向上开启,以便于调节温度,通过设置的观察孔12便于工作人员从外部观察多晶硅的生长状态,通过设置的固定螺丝6能够使固定方式更加简易牢固。

其中,所述观察管10顶端设置有观察孔12,便于工作人员从外部观察多晶硅的生长状态。

其中,所述保温腔体1顶端设置有顶盖11,便于紧急情况下的开盖操作。

其中,所述侧加热器15和侧隔热笼7通过固定螺丝6与支撑板17连接,能够使固定方式更加简易牢固。

需要说明的是,本实用新型为一种大容量多晶硅铸锭炉的热场结构,工作时,通过升降丝杠14将上隔热笼9关闭,再通过上加热棒13和下加热棒3对上加热器8、下加热器5和侧加热器15进行加热,使温度保持在工艺要求范围内,当需要调节温度时通过升降丝杠14将上隔热笼9开启,上隔热笼9与下隔热笼4之间形成间隙,可将温度释放,从而形成温度梯度,继而可通过升降丝杠14控制温度,形成一个稳定的温度梯度。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

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