技术编号：11614780
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及碳化硅制造设备技术领域，具体为一种用于长晶炉的支撑结构。背景技术长晶炉在使用过程中需要经受长时间的高温，这种情况下多次使用后长晶炉的立柱会容易产生变形裂纹等情况，当出现这类情况的时候坩埚就很容易发生翻倒，长晶炉内部的钨托盘有时会需要旋转，通常的坩埚与钨托盘连接方式不够牢固，在钨托盘旋转时可能发生松动，影响产品质量。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种用于长晶炉的支撑结构，以解决上述背景技术中提出的通常的长晶炉坩埚与钨托盘连接不够牢固，且立柱损坏容易使坩埚发生翻倒等问题。为实现上...
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